[发明专利]在物理气相沉积期间支撑工件的方法在审
| 申请号： | 201210193482.8 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102839355A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·R·伯吉斯 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 期间 支撑 工件 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在物理气相沉积(PVD)期间支撑工件的方法，所述方法包括：
(a)设置具有支撑平面的铝支座，所述支撑平面涂有吸热涂层；
(b)冷却所述支座至100℃左右；以及
(c)进行PVD过程以使得在冷却作用下所述工件的温度在350℃～450℃之间。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述涂层为惰性和/或超高电压兼容。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述涂层为CrOx、Al2O3或任何强吸收金属氧化物薄膜。
4.一种物理气相沉积的设备，所述设备包括：真空室和设置在所述真空室内的用于支撑工件的支座以及用于冷却所述支座的冷却回路，其中所述支座包括具有支撑面的铝体，且所述支撑面涂有吸热涂层。
5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述涂层为惰性和/或超高电压兼容。
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述涂层为CrOx、Al2O3或任何其它强吸收金属氧化物薄膜。
7.根据权利要求4至6中所述的设备，其中，所述支座被冷却至100℃左右。
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