[发明专利]光学滤光器以及摄像装置

说明书

本申请是申请号为200710147123.8，申请日为2007年8月30日，发明名称为“光学滤光器以及摄像装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及使用了光学滤光器，以及具有该光学滤光器的光圈装置的摄像装置。

背景技术

在以往的视频照相机等的光学设备中，设置用于控制进入固体摄像元件的入射光量的光量光圈装置。该光量光圈装置被控制为在被拍摄体变亮时变成更小的光圈。此外，在该光量光圈装置上配置有ND（Neutral Density）滤光器，谋求即使是明亮的被拍摄体的情况下也能够防止光圈开口过度变小，防止晃动现象和光的衍射现象。

关于该ND滤光器，除了具有单一密度的滤光器之外，公知的还有例如在特开平6-265971号公报或特开2004-205951号公报中公开的、具有透明的部分和透射率连续性或者阶段性变化的部分的滤光器。

另一方面，视频照相机等的光学设备的固体摄像元件的高灵敏度化和高精细化正在进步。因此，如果配置在光量光圈装置上的ND滤光器的整个可见光波长区域中的分光反射率高，则在摄影画面中容易发生重像或闪烁（flare）等。因而，为了降低该重像或闪烁，重要的是降低ND滤光器的分光反射率。

为了降低ND滤光器的分光反射率，公知的有利用真空蒸镀法等在ND膜上形成反射防止膜的方法。此外，公知的有在没有形成ND膜的面上作为反射防止膜进行AR（Anti-Reflection）涂层的成膜的方法。但是，当形成由基板表面的单层膜组成的反射防止膜的情况下，虽然反射率能够在特定的波长下降低，但在该波长以外不能够降低。因而，如特开平8-075902号公报、特开平10-133253号公报、特开2003-344612号公报所示，公知的有例如层叠SiO₂、MgF₂、Nb₂O₅、TiO₂、Ta₂O₅、ZrO₂、Al₂O₃等折射率不同的多类薄膜，抑制任意波长区域的反射率。

但是，在用于视频照相机等的光学设备中的光圈装置中使用上述那样的ND滤光器的情况下，留下如下问题。

即，通过了包含照相机的光圈装置的摄像光学系统的光线在固体摄像元件的表面上成像时，有时其一部分的光线在固体摄像元件的表面或光圈装置与摄像元件之间的透镜的表面上反射，返回光圈装置一侧。如果该反射光在ND滤光器上再反射后再次入射到固体摄像元件，则发生重像或闪烁。

为了防止这些问题，一般是将ND滤光器配置在光圈装置上，使得施加了反射防止膜的ND膜面处于固体摄像元件一侧。但是，不能防止上述反射光透过ND滤光器的ND膜，透过滤光器的基板在相反一侧的界面上反射，再次朝向固体摄像元件的情况。此外，当在基板两侧形成ND膜的情况下，也不能防止上述反射光在形成于固体摄像元件的相反一侧上的ND膜和基板的界面上反射。

进而，有时在ND滤光器上具有透明区域。此时，在透明区域的反射防止中使用了透明的反射防止多层膜的情况下，因为作为多层膜具有最佳折射率的物质受到限定，所以有时难以实现最佳的组合。此外，必须和ND膜另外地将反射防止膜形成为多层，制造工时增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不仅降低在滤光器表面上的分光反射率，而且还降低透过滤光器的基板在相反一侧的界面上的分光反射率，降低了发生闪烁或重像等的对图像的不良影响的光学滤光器。

此外，提供一种即使在滤光器上具有透明区域的情况下也容易具有反射防止效果的光学滤光器。

进而，提供一种使用具有这种光学滤光器的光圈装置，降低了发生闪烁或重像等对图像的不利影响的摄像装置。

为了解决上述的问题，根据本发明的第1方面，光学滤光器是在透明基板上的至少一部分上层叠了薄膜的滤光器，其特征在于：在与至少形成有上述薄膜的面相反的一侧的面的至少一部分上形成排列有防止光的反射的反射防止构造体的无反射周期层，上述反射防止构造体以比作为反射防止的对象的光的波长还短的周期的间隔排列。