[发明专利]一种甩干机内筒硅片盒夹具侧板无效
| 申请号： | 201210198579.8 | 申请日： | 2012-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102706129A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 秦国东 | 申请（专利权）人： | 无锡市优耐特石化装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12;F26B25/18 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 甩干机内筒 硅片 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种甩干机内筒硅片盒夹具侧板，包括侧板体（1），其特征在于：所述侧板体（1）上下两侧分别开设一条插槽，即顶板插槽（3）、底板插槽（4），同时，所述侧板体（1）底部通过底板插槽（4）插接一块支板（5）, 所述支板（5）上开设若干固定孔（6）。
2.根据权利要求1所述的甩干机内筒硅片盒夹具侧板，其特征在于：所述顶板插槽（3）与底板插槽（4）二者相互平行。
3.根据权利要求1所述的甩干机内筒硅片盒夹具侧板，其特征在于：所述侧板体（1）外表面设置若干开孔（2）。
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