[发明专利]一种复合薄膜及其镀膜方法有效

专利信息
申请号: 201210199085.1 申请日: 2012-06-18
公开(公告)号: CN102719789A 公开(公告)日: 2012-10-10
发明(设计)人: 张锡涛;王长明;毕英慧 申请(专利权)人: 东莞劲胜精密组件股份有限公司
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/34
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 罗晓林;李志强
地址: 523000 广东省东莞市长安镇*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 薄膜 及其 镀膜 方法
【说明书】:

技术领域

发明属于金属材料表面处理技术领域,尤其涉及一种镀覆于金属基材表面的复合薄膜及其镀膜方法。

背景技术

黄金作为财富的象征,被广泛应用于各种奢侈品领域,如手机、手表、项链、戒指等,通常情况是在其表面镀上一定质量的黄金,增加产品的价值。但是黄金本身材质柔软,很容易磨损,也很容易变成极细粉末,加之装饰产品一般都是佩戴在身上,这样,时间长了镀金层就会受到磨损。因而需要对单质金膜进行改性处理以增强其耐磨损性,保持其外观美感和价值的长久性。

发明内容

为了克服上述所指的现有技术中的不足之处,本发明提供一种金属表面的复合薄膜及其镀膜方法,以增强金属表面的耐腐蚀性和耐磨损性,同时富有美感。

本发明是通过以下技术方案实现的:一种复合薄膜,镀覆于金属基材表面,该复合薄膜从金属基材向外依次包括金属铬层、金属钛层、氮化钛层、铬钛金混金属氮化物层和铬金混金属氮化物层。

所述氮化钛层中氮的质量百分比为40%-60%,余量为钛,以上2种成分占氮化钛层物质的总比例为100%。所述铬钛金混金属氮化物层中各成分的质量百分比为氮5%-15%,铬5%-15%,钛20%-40%,金50%-70%,以上4种成分占铬钛金混金属氮化物层物质的总比例为100%。所述铬金混金属氮化物层中各成分的质量百分比为氮5%-15%,铬5%-15%,金70%-90%,以上3种成分占铬金混金属氮化物层物质的总比例为100%。 

所述金属铬层的膜层厚度为40-60纳米,金属钛层的膜层厚度为40-60纳米,氮化钛层的膜层厚度为300-500纳米,铬钛金混金属氮化物层的膜层厚度为400-600纳米,铬金混金属氮化物层的膜层厚度为1000-1500纳米。

本发明还提供了一种上述复合薄膜的镀膜方法,该制备方法基于以下条件,真空磁控溅射镀膜机,且镀膜机配置有等离子体偏压电源系统、溅射电源系统、靶材及接入真空室的溅射气体和反应气体的供气系统,溅射气体为氩气,反应气体为氮气,金属基材置于真空室,且真空室的真空度为大于1.0×10-3帕,温度为140-160℃;其步骤如下: 

步骤1、对金属基材进行等离子处理以增强金属基材的表面活性,等离子体偏压电源的电压为1000V-1300V,脉冲方波的占空比为50%-75%,在频率40Hz的条件下进行等离子处理时间为20-30分钟,通过氩气流量调节真空室的真空度为1.5-2.5帕;

步骤2、在金属基材表面依次镀金属铬、金属钛,靶电源功率为8-10千瓦,膜层厚度通过电镀时间控制;

步骤3、在金属钛层外镀氮化钛层,靶电源功率为8-10千瓦,打开靶电源的同时通入气体氮气,通过氮气的供气流量控制膜层中氮的含量,氮气的流量恒定在50-150标准毫升/分钟,膜层厚度通过电镀时间控制;

步骤4、在氮化钛层外镀铬钛金混金属氮化物层,靶电源功率分别为钛靶4-6千瓦,铬靶0.4-0.6千瓦,金靶0.4-0.6千瓦,打开靶电源的同时通入气体氮气,通过氮气的供气流量控制膜层中氮的含量,氮气的流量恒定在50-150标准毫升/分钟,膜层厚度通过电镀时间控制;

步骤5、在铬钛金混金属氮化物层外镀铬金混金属氮化物层,靶电源功率分别为铬靶0.2-0.4千瓦,金靶0.8-1.2千瓦,打开靶电源的同时通入气体氮气,通过氮气的供气流量控制膜层中氮的含量,氮气的流量恒定在50-150标准毫升/分钟,膜层厚度通过电镀时间控制;

步骤6、停止加热,待温度自然冷却至100℃以下取出该已镀膜的金属基材。

步骤2所述金属铬层和金属钛层的镀膜时间分别为5-10分钟,膜层厚度均为40-60纳米。

步骤3所述的氮化钛层的镀膜时间为10-30分钟,膜层厚度为300-500纳米;氮化钛层中氮的质量百分比为40%-60%,余量为钛,以上2种成分占氮化钛层物质的总比例为100%。

步骤4所述铬钛金混金属氮化物层的镀膜时间为5-10分钟,膜层厚度为400-600纳米;铬钛金混金属氮化物层中各成分的质量百分比为氮5%-15%,铬5%-15%,钛20%-40%,金50%-70%,以上4种成分占铬钛金混金属氮化物层物质的总比例为100%。

步骤5所述的铬金混金属氮化物层的镀膜时间为30-60分钟,膜层厚度为1000-1500纳米;铬金混金属氮化物层中各成分的质量百分比为氮5%-15%,铬5%-15%,金70%-90%,以上3种成分占铬金混金属氮化物层物质的总比例为100%。

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