[发明专利]p型氧化锌材料的制备方法有效
申请号: | 201210201820.8 | 申请日: | 2012-06-18 |
公开(公告)号: | CN102719893A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 黄丰;丁凯;林文文;张继业;郑清洪;黄嘉魁;黄瑾;湛智兵;陈达贵 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | C30B31/00 | 分类号: | C30B31/00;C23C14/58;H01L21/477 |
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地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化锌 材料 制备 方法 | ||
1.p型氧化锌材料的制备方法,包括如下步骤:
(1)在氧化性气氛获得含高浓度锌空位的前体氧化锌材料;
(2)在还原性气氛下利用一价元素填充前体材料中的锌空位;
(3)在弱氧化性气氛去除晶格中富余的间隙型掺杂原子。
2.根据权利要求1所述的p型氧化锌材料的方法,其特征在于:所述的一价元素选自氢、锂、钠、钾、铜或银。
3.根据权利要求1所述的p型氧化锌材料的方法,其特征在于:所述的氧化锌材料为氧化锌单晶或氧化锌薄膜或纳米结构。
4.根据权利要求1所述的p型氧化锌材料的方法,其特征在于:所述的p型氧化锌材料包括ZnBeO、ZnMgO、ZnCaO或ZnCdO三元合金。
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