[发明专利]一种钛硅合金靶材的制造方法

权利要求书

1.一种钛硅合金靶材的制造方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将硅粉、钛粉置于混粉罐进行机械混合，得到混合粉末，混料时间为1-16小时；

2）称取步骤1）中所得到的混合粉末，装入石墨模具中，然后将石墨模具放入热压炉中，关闭炉门，先在室温条件进行预压，预压压力在5-20MPa；

3）然后真空系统对炉内抽真空，当炉内真空度达到1x10-2Pa时，铜感应线圈通电加热模具、混合粉末和压头到465℃-765℃，保温1-5小时，而后利用真空感应和电阻的双重加热使温度迅速升温至800-1300℃，升温速率50-100℃/min，当达到烧结温度时上下压头开始加压，压力控制在10-80MPa，保温2-6小时，然后停止加热，卸去压力；

4）待冷却脱模后，对成型的钛硅靶坯进行机械和电加工，加工完毕后进行清洗、烘干、包装工序，得到最终所需钛硅靶材。

2.根据权利要求1所述一种钛硅合金靶材的制造方法，其特征在于：所述步骤1）中硅粉和钛粉的重量百分比为硅粉：钛粉=1%-50%：50%-99%。

3.根据权利要求1或2所述一种钛硅合金靶材的制造方法，其特征在于：所述步骤1）中钛粉颗粒度为40-83μm，硅粉颗粒度为30-100μm。

4.根据权利要求3所述一种钛硅合金靶材的制造方法，其特征在于：所述步骤1）中钛粉纯度在99.9%以上、硅粉纯度在99.9%以上。