[发明专利]紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜及其制备方法有效
申请号: | 201210203951.X | 申请日: | 2012-06-19 |
公开(公告)号: | CN102707350A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 李建潮;杨靖辉;庞华华 | 申请(专利权)人: | 宜兴市晶科光学仪器有限公司 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08;G02B1/10;B32B15/04;B32B9/04 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 徐冬涛;李晓峰 |
地址: | 214211 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外 可见 波段 反射率 稳定性 反射 及其 制备 方法 | ||
1.一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜,其特征在于包括玻璃基板(1)、过渡层(2)、金属层(3)、氟化物和保护层,所述的玻璃基板(1)、过渡层(2)、金属层(3)、氟化物层和保护层依次设置。
2.根据权利要求1所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜,其特征在于所述的过渡层为镍,所述的金属层为铝、所述的氟化物层依次由冰晶石层和氟化镁层组成,所述的保护层依次由二氧化硅层和氟化铈层组成。
3.根据权利要求2所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜,其特征在于所述过渡层镍的几何厚度为10~20纳米,所述金属层铝的几何厚度为60~90纳米,所述冰晶石层的几何厚度为5~15纳米,所述氟化镁层的几何厚度为5~20纳米,所述二氧化硅层的几何厚度为10~25纳米,所述氟化铈层的几何厚度为10~20纳米。
4.根据权利要求2或3所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜,其特征在于采用以下方法制备:(1)在基板上镀过渡层镍,温度80℃~200℃;(2)在过渡层上镀金属层铝,温度40℃~100℃;(3)在金属层上镀冰晶石层,温度40℃~100℃; (4)在冰晶石层上镀氟化镁层,温度40℃~100℃;(5)在氟化镁层上镀二氧化硅层,温度40℃~100℃;(6)在二氧化硅层上镀氟化铈层,温度40℃~70℃。
5.一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)在基板上镀过渡层镍,温度80℃~200℃;(2)在过渡层上镀金属层铝,温度40℃~100℃;(3)在金属层上镀冰晶石层,温度40℃~100℃; (4)在冰晶石层上镀氟化镁层,温度40℃~100℃;(5)在氟化镁层上镀二氧化硅层,温度40℃~100℃;(6)在二氧化硅层上镀氟化铈层,温度40℃~70℃。
6.根据权利要求5所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法,其特征在于所述过渡层镍的几何厚度为10~20纳米,所述金属层铝的几何厚度为60~90纳米,所述冰晶石层的几何厚度为5~15纳米,所述氟化镁层的几何厚度为5~20纳米,所述二氧化硅层的几何厚度为10~25纳米,所述氟化铈层的几何厚度为10~20纳米。
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