[发明专利]锂电池电极片的毛边处理方法及装置

权利要求书

1.一种锂电池电极片的毛边处理方法，其特征在于，所述方法包括：

S1、提供等离子体刻蚀装置，所述等离子体刻蚀装置包括上下对应设置的第一电极、第二电极以及第一电极和第二电极间的腔室，所述第一电极上连接有第一射频源，第二电极连上接有第二射频源；

S2、将锂电池电极片竖直放置在所述等离子体刻蚀装置腔室内的第二电极上；

S3、将所述腔室抽至本底真空，并向腔室内通入反应气体使腔室达到预定气压；

S4、开启并调节所述第一射频源和第二射频源，所述腔室内反应气体被激发形成等离子体，所述等离子体对锂电池电极片的剖面进行轰击以进行刻蚀。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一电极和第二电极为相互平行设置的平板电极。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一电极为感应线圈，第二电极为平板电极，所述第一电极和第二电极平行设置。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反应气体为六氟化硫和氩气的混合气体。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述六氟化硫和氩气的体积流量比例为1:3。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述六氟化硫和氩气的体积流量分别为20sccm和60sccm。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述预定气压设定为1.2Pa。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一射频源的频率为40.68MHz，第二射频源的频率为13.56MHz。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一射频源的功率固定为130W。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第二电极偏压固定为-200V。

11.一种如权利要求1所述的锂电池电极片的毛边处理装置，其特征在于，所述装置为等离子体刻蚀装置，包括：

上下对应设置的第一电极、第二电极以及第一电极和第二电极间的腔室，所述第一电极上连接有第一射频源，第二电极连上接有第二射频源；

抽气泵，用于将所述腔室抽至本底真空；

气体进口，用于向腔室内通入反应气体。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述装置还包括一流量计，用于调控反应气体的流量比例。