[发明专利]单晶炉加热系统无效
申请号: | 201210205336.2 | 申请日: | 2012-06-20 |
公开(公告)号: | CN102758254A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 林游辉 | 申请(专利权)人: | 合肥景坤新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方峥 |
地址: | 231600 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 加热 系统 | ||
1.单晶炉加热系统,其特征在于:包括置于炉体内上加热器、下加热器,上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部,上加热器、下加热器分别连接有电源系统,所述的上加热器、下加热器分别呈方波状,上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙,且上加热器大于下加热器的竖向高度,所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板,隔热板伸向坩埚。
2.根据权利要求1所述的单晶炉加热系统,其特征在于:所述的坩埚的上部、下部侧壁上分别设有温度探头,温度探头分别电连接到上加热器、下加热器电源系统的控制单元。
3.根据权利要求1所述的单晶炉加热系统,其特征在于:所述的上加热器、下加热器内侧壁上分别固定设有数个防对流板,防对流板是有耐热材料制成。
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