[发明专利]单晶炉用自控式加热系统有效
申请号: | 201210205675.0 | 申请日: | 2012-06-20 |
公开(公告)号: | CN102828236A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 林游辉 | 申请(专利权)人: | 合肥景坤新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 方峥 |
地址: | 231600 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉用 自控 加热 系统 | ||
1.单晶炉用自控式加热系统,其特征在于:包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器,上石墨加热器、下石墨加热器分别正对于坩埚的上部、下部,上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统,所述的上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状,上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板,相邻的导流板之间有连接筋,上石墨加热器的下端与下石墨加热器的上端之间具有间隙,且上石墨加热器大于下石墨加热器的竖向高度,所述的上石墨加热器下端与下石墨加热器上端的间隙中设有隔热板,隔热板伸向坩埚;坩埚的上部、下部侧壁上分别设有温度传感器,温度传感器分别连接到单片机的输入端,单片机的输出端与上石墨加热器、下石墨加热器的电源系统相连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用自控式加热系统,其特征在于:所述的单片机外连接有对应的坩埚上部、下部的温度显示屏。
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