[发明专利]靶材组件的制作方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：

提供镍靶材坯料和背板，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；

利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层；

利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层；

将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。

2.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述第一钎料层的形成步骤包括：将钎料放置在所述镍靶材坯料的待焊接面上；对所述镍靶材坯料进行加热，以熔化所述钎料形成第一钎料层。

3.如权利要求2所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述形成第一钎料层的具体形成工艺条件为：保持具有钎料的镍靶材坯料的温度为220℃～230℃，保温25min～30min；

在对镍靶材坯料进行加热时，还包括：用钢刷摩擦镍靶材坯料的待焊接面以形成均匀分布的第一钎料层。

4.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述第二钎料层的形成步骤包括：将钎料放置在背板的待焊接面上；对背板进行加热，以熔化所述钎料形成第二钎料层。

5.如权利要求4所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述形成第二钎料层的具体形成工艺条件为：保持具有钎料的背板的温度为220℃～230℃；对背板进行加热时，还包括：利用超声波处理背板的待焊接面，以形成均匀分布的第二钎料层，所述超声波处理时间为20min～30min。

6.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，采用夹具固定所述背板，所述夹具固定在所述背板凹槽四周的表面上。

7.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板的待焊接面的尺寸大于或等于镍靶材坯料待焊接面的尺寸。

8.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述焊接工艺的温度为40℃～60℃，焊接压力为0.4MPa～0.6MPa，焊接时间为20min～40min。

9.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述镍靶材坯料的纯度至少为99.99％。

10.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板的材料为铜或铜合金。

11.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述钎料为无铅钎料。