[发明专利]光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置有效
| 申请号： | 201210206727.6 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102722016A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;倪明阳;孙振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 tip tilt 自由度 微动 调整 装置 | ||
1.光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，包括镜框（1）、镜筒（2）、三个运动支链（3）和三对双电容传感器（4）；其特征在于，所述镜框（1）和镜筒（2）通过三个运动支链（3）连接；所述每个运动支链（3）均由第一柔性万向铰（3-1）、驱动器（3-2）和第二柔性万向铰（3-3）组成，驱动器（3-2）位于第一柔性万向铰（3-1）的下面，第二柔性万向铰（3-3）位于驱动器（3-2）下面，三个运动支链（3）沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器（4）的上电极板（4-1）和下电极板（4-2）分别固定在镜框（1）和镜筒（2）上，且三对双电容传感器（4）周向间隔120°均匀分布。
2.根据权利要求1所述的光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，其特征在于，第一柔性万向铰（3-1）、驱动器（3-2）和第二柔性万向铰（3-3）三者通过胶粘或螺钉固定的方式连接。
3.根据权利要求1所述的光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，其特征在于，所述第一柔性万向铰（3-1）与镜框（1）固定，第二柔性万向铰（3-3）与镜筒（2）固定。
4.根据权利要求1所述的光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，其特征在于，所述运动支链（3）和双电容传感器（4）在周向间隔60°交错排布。
5.根据权利要求1所述的光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，其特征在于，光学元件（5）与镜框（1）之间通过胶粘或者压圈压紧的方式固定。
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