[发明专利]光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置无效
| 申请号： | 201210206743.5 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102707404A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;彭海峰;于新峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 sub 自由度 微动 调整 装置 | ||
【权利要求书】：
1.光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，该装置为一体化结构，包括镜框（2）、三个驱动器（3）和两个电容传感器（4）；其特征在于，所述三个驱动器（3）和两个电容传感器（4）分别固定在镜框（2）上；
所述镜框（2）为一体化结构，由镜框内环（2-1）、镜框外环（2-2）和三个运动支链（2-3）组成；所述每个运动支链（2-3）均由三个柔性铰链（2-3-1）、第一连杆（2-3-2）和第二连杆（2-3-3）组成，所述运动支链（2-3）的外侧与镜框外环（2-2）相连，运动支链（2-3）的内侧与镜框内环（2-1）相连，三个运动支链（2-3）沿周向间隔120°均匀分布；
所述驱动器（3）安装在镜框外环（2-2）上，驱动器（3）的输入位移作用在第一连杆（2-3-2）上，其方向垂直于第一连杆（2-3-2）的竖直侧面；
两个电容传感器（4）均固定在镜框外环（2-2）的内侧，并且两个电容传感器间的周向间隔为90°。
2.根据权利要求1所述的光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置，其特征在于，所述电容传感器（4）为单电极电容传感器。
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