[发明专利]测试探针装置

权利要求书

1.一种测试探针装置，用于飞针测试机，其特征在于：所述测试探针装置包括主体座、安装于所述主体座一端的支架固定座、一端固定于所述支架固定座上的弹性支架、固定于所述弹性支架的另一端的测试针、在所述测试针的运动方向上移动后并相对于所述主体座固定的传感器调整座、随着所述传感器调整座移动且位于所述传感器调整座与所述主体座之间的位移传感器及调整所述传感器调整座相对于所述主体座的位置的调节件，所述位移传感器于靠近所述弹性支架的一侧开设有凹口，所述位移传感器具有由所述凹口的一侧发射向所述凹口的另一侧的对射光，所述弹性支架包括伸入所述凹口内并可遮挡所述对射光的遮光块，所述弹性支架于所述测试针进行测试时产生变形，以使所述遮光块遮挡的对射光的光量的产生变化，进而测试所述测试针的位移量的变化。

2.如权利要求1所述的测试探针装置，其特征在于：所述调节件包括头部及由所述头部延伸的螺纹杆，所述主体座包括安装台、立于所述安装台的一侧的固定台及开设于所述安装台上的供所述头部卡置的卡槽、位于所述卡槽的相对两侧且与所述卡槽相连通的第一凹槽和第二凹槽、与所述第二凹槽相连通的调整座导向槽，所述螺纹杆横卧于所述第二凹槽内并锁入所述传感器调整座，所述传感器调整座于旋拧所述头部而调整所述螺纹杆锁入所述传感器调整座内的深度时在所述测试针的运动方向上移动，以调整所述弹性支架的遮光块对所述位移传感器的对射光的遮光量。

3.如权利要求2所述的测试探针装置，其特征在于：所述传感器调整座包括盖于所述位移传感器上的板体及由所述板体的一侧朝向所述安装台延伸的导向板，所述板体的一端安装于所述固定台上，所述导向板的末端伸入所述调整座导向槽内，所述螺纹杆锁入所述导向板上。

4.如权利要求3所述的测试探针装置，其特征在于：所述导向板的末端的相对两侧与所述调整座导向槽的侧面相贴合，以于所述传感器调整座在所述测试针的运动方向上移动时导引所述传感器调整座。

5.如权利要求3所述的测试探针装置，其特征在于：所述测试探针装置还包括将所述位移传感器自下而上锁入所述传感器调整座的板体上的锁固件。

6.如权利要求3所述的测试探针装置，其特征在于：所述位移传感器的侧面与所述固定台的内侧面相贴合，所述固定台的内侧面于所述位移传感器在所述测试针的运动方向上移动时导引所述位移传感器。

7.如权利要求3所述的测试探针装置，其特征在于：所述位移传感器具有数据传输线缆，所述导向板上开设有供所述数据传输线缆穿过的穿孔。

8.如权利要求1-7任一项所述的测试探针装置，其特征在于：所述支架固定座包括安装板及立于所述安装板上的安装柱，所述安装板的一侧安装于所述主体座一端的底部，所述安装柱的顶部向外延伸有悬板，所述弹性支架包括位于其一端的本体，所述测试探针装置还包括穿过所述悬板并固定于所述本体上的第一固定件及穿过所述安装板并固定于所述本体上的第二固定件。

9.如权利要求8所述的测试探针装置，其特征在于：所述安装板上设置有挡止于所述弹性支架的靠近所述支架固定座的一侧的挡板，所述挡板位于所述遮光块的远离所述测试针的一侧。

10.如权利要求8所述的测试探针装置，其特征在于：所述测试针的数量为二，所述二测试针相互平行地安装于所述弹性支架的另一端，所述二测试针之间用绝缘材料隔开。