[发明专利]利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法有效
申请号: | 201210207759.8 | 申请日: | 2012-06-21 |
公开(公告)号: | CN102785025A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 陈烽;杨青;胡洋;王先华;瞿谱波;刘贺炜;司金海;侯洵 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;G02B3/00 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 弋才富 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 激光 增强 化学 刻蚀 制备 大规模 透镜 阵列 方法 | ||
1.利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料,依次放入丙酮、乙醇、去离子水三种溶液中彻底清洁,再将靶材置于飞秒激光微纳加工装置上,选用脉冲宽度为30到150fs、波长为325到1200nm的超短脉冲激光,经数值孔径值为0.3至0.9的物镜聚焦在硬质材料表面;
步骤二、根据所需要加工的微透镜阵列形状,控制精密加工平台移动靶材的速率,飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数,脉冲频率为1KHz,由于飞秒激光特殊的加工特性,在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区;
步骤三、利用体积浓度为1%至10%的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀,腐蚀时间为60-90分钟,并且用超声波水浴加热辅助,加热温度为30~80摄氏度,加热时间为40~80分钟;
步骤四、将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净,即为一块大规模微透镜阵列的模板成品。
2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法,其特征在于,所述的作为靶材的硬质材料为6面抛光的石英玻璃或K9玻璃。
3.根据权利要求1所述的利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法,其特征在于,所说的微透镜阵列为矩形或正六边形的凹形微透镜阵列。
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