[发明专利]滚轮式压印系统

说明书

技术领域

本发明是有关一种压印装置，特别是有关一种运用软性模具将图形复制在基板上的滚轮式压印系统。

背景技术

现今电子化产品不断强调迷你、轻薄短小与高效能兼具的主要特性，代表利用半导体工业开发出来的核心组件也必须朝着迷你、轻薄短小与高效能兼具的方向持续发展。目前半导体工业主要发展瓶颈在于线宽尺寸，当线宽尺寸距离越小，核心组件的尺寸也可以随之缩小；而在效能方面，由于线宽尺寸距离缩短，使能量传递的速度越快、功率损耗缩小，效能也可以随之提高。

传统半导体工业制作核心组件的方法为光学微影（Photo Lithography），而在光学方面由于受聚焦深度的成像物理限制，即使在曲率极小的平面上制作结构图形也很困难，所以对于缩小线宽尺寸的瓶颈仍然难以克服。目前能达到纳米尺寸的微影技术（Lithography）有步进重复式微影（Step and Repeat Lithography）、电子束微影技术（E-beam Lithography）、离子束微影技术（Ion-beam Lithography）、及纳米压印微影技术（Nanoimprint Lithography）等等。其中纳米压印微影技术不受光学绕射极限的限制且具有分辨率高、速度快、以及成本低廉等特色，因此应用领域相当广泛。

发明内容

鉴于上述的发明背景中，为了符合产业利益的需求以及达到上述的目的，本发明提出一种滚轮式压印系统，适用于转印一图案至一基板，其包括滚轮模块、传动模块、固定模块、固化模块、及电子控制模块。滚轮模块包含一滚轮；传动模块包含可移动的一承载平台，且承载平台上安置有该基板。软性模仁位于基板与滚轮之间，其包含一图案层面对基板，该图案位于该图案层上。电子控制模块连接滚轮模块与传动模块，用以控制滚轮呈现一第一方向移动并且使承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置；其中电子控制模块控制滚轮对软性模仁施加压力，以将图案层转印至基板上。本发明的滚轮模块更包含一滚轮自转马达且前述的滚轮自转马达连接前述的滚轮用以使前述的滚轮具有一转速。

前述的转速可与前述的承载平台的移动速度相互搭配以顺利将前述的图案转印至前述的基板。

本发明的滚轮模块更包含一升降机构用以带动前述的滚轮呈现一第一方向的移动，该升降机构可为一气缸。

当本发明的滚轮模块到达一定位点之后前述的承载平台才开始进行移动，或是该滚轮模块与该承载平台于压印前到定位。

本发明的软性模仁可预先贴附或是渐进式贴附至前述的滚轮表面上再开始进行滚轮压印的制程。

本发明的软性模仁可预先覆盖或是渐进式覆盖于前述的基板上再进行滚轮压印的制程，其中渐进式覆盖是在该软性模仁进入滚轮前才将该模仁部分覆盖在该基板上。

本发明的传动模块具有一传动马达以移动前述承载平台；传动模块更包含一线性移动装置用以与前述的传动马达相互搭配以使承载平台进行移动，其中该线性移动装置可为螺杆、滑轨、导杆或是轨道。

本发明的固定模块包含多数个导气孔或导气通道并连接一真空源或是真空产生器以将基板固定于固定模块上，其中该真空源可为抽气马达。

本发明的滚轮式压印系统更包含一固化模块且前述的固化模块邻近前述的传动模块，用以藉由前述的固化模块的灯罩将固化模块的光线引导至前述的滚轮与前述的软性模仁的接触位置。

于本发明另一实施例中，滚轮式压印系统适用于转印软性模仁的图案至一基板，其包括滚轮模块、传动模块、固定模块、固化模块、及电子控制模块。滚轮模块包含一滚轮；传动模块包含可移动的一承载平台，且承载平台上安置有该基板。一履带模块，承载该软性模仁使其位于该基板与该滚轮之间，该软性模仁上的一图案层面向该基板，且该图案位于该图案层上。电子控制模块连接滚轮模块与传动模块，用以控制滚轮呈现一第一方向移动并且使承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置；其中电子控制模块控制滚轮对软性模仁施加压力，以将图案层转印至基板上。本发明的滚轮模块更包含一滚轮自转马达且前述的滚轮自转马达连接前述的滚轮用以使前述的滚轮具有一转速。

于本发明一实施例中，履带模块包含齿轮马达组、履带吸条组及支架组。

附图说明

图1为本发明的模块示意图。

图2为本发明的滚轮模块的示意图。

图3为本发明的传动模块的示意图。

图4为本发明的固定模块的示意图。

图5A及图5B为本发明的基板转印时的示意图。

图6A为本发明的滚轮式压印系统的前视示意图。

图6B为本发明的滚轮式压印系统的侧视示意图。