[发明专利]利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统

权利要求书

1.一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，包括：

光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；

所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；

所述平行光通过所述第一分光元件垂直入射至样品上；

经所述样品透射的光入射至所述探测单元；

经所述样品反射的光通过第一分光元件后入射至所述探测单元；

所述探测单元，测量入射光谱及反射光谱。

2.根据权利要求1所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，

所述探测单元包括：用于测量透射光谱的第一光谱计和用于测量反射光谱的第二光谱计；

经所述样品透射的平行光通过透射光聚光单元入射至所述第一光谱计；

经所述样品反射的平行光，返回至所述第一分光元件，所述第一分光元件使所述平行光的一部分通过反射光聚光单元后入射至所述第二光谱计。

3.根据权利要求2所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，还包括：

第二分光元件和垂直入射校准单元；

所述第二分光元件设置在所述准直单元和所述光源之间；所述第二分光元件使所述光源产生的光的一部分入射至所述准直单元；以及使由样品反射的，依次经过所述第一分光元件，所述准直单元的光束的一部分入射至所述垂直入射校准单元。

4.根据权利要求2所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，还包括：

第二分光元件和垂直入射校准单元；

所述第二分光元件设置在所述反射聚光单元和所述第二光谱计之间；

所述第二分光元件使由样品反射的，依次经过所述第一分光元件，所述反射聚光单元的光束的一部分入射至所述垂直入射校准单元，另一部分光入射至所述第二光谱计。

5.根据权利要求2所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，还包括：

第二分光元件、垂直入射校准单元和聚光元件；

所述第二分光元件设置在所述第一分光元件和所述准直单元之间；

所述第二分光元件使所述光源产生的，经过所述准直单元的平行光的一部分入射至所述第一分光元件；以及使由样品反射的，经过所述第一分光元件的光的一部分入射至所述聚光元件，经所述聚光元件后入射至所述垂直入射校准单元。

6.根据权利要求1所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，所述探测单元包括：

Y型光纤和第一光谱计；

所述Y型光纤用于分别接收经所述样品透射，经过第一聚光单元的光，以及经所述样品反射后依次通过所述第一分光元件，所述第二聚光单元的光，并将其入射到所述第一光谱计；

所述第一光谱计与所述Y型光纤连接。

7.根据权利要求6所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，还包括：

第二分光元件和垂直入射校准单元；

所述第二分光元件设置在所述准直单元和所述光源之间；

所述第二分光元件使所述光源产生的光的一部分入射至所述准直单元；以及使由样品反射的，依次经过所述第一分光元件，所述准直单元的光束的一部分入射至所述垂直入射校准单元。

8.根据权利要求7所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于，还包括：

光源监测单元，所述光源监测单元包括监测聚光单元和第二光谱计；

所述第一分光元件还用于将所述光源发出的，依次通过所述第二分光元件，所述准直单元的光束的一部分通过所述监测聚光单元，入射至所述第二光谱计。

9.根据权利要求6所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于：

在第一分光元件与Y型光纤之间设置有快门；在样品与Y型光纤之间设置有快门。

10.根据权利要求3、4、5、7或8任一项所述的利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，其特征在于：

所述第一分光元件和第二分光元件包括分光薄片、分光棱镜、点格分光镜或薄膜分光镜；

所述垂直入射校准单元包括四象限探测器、CCD或CMOS。