[发明专利]一种凹面衍射光栅衍射波前的检测方法

权利要求书

1.一种凹面衍射光栅衍射波前的检测方法，包括建立凹面衍射光栅衍射波前检测系统:将标准凸透镜安装在ZYGO干涉仪上，ZYGO干涉仪内置激光器，凹面衍射光栅放置在旋转平台上；标准凸透镜与旋转平台之间铺设导轨，旋转平台置于导轨之上；凹球面反射镜置于凹面衍射光栅衍射光反射光路上；其特征在于按照以下步骤进行：

A)将标准凸透镜主光轴与凹面衍射光栅中心放在同一条直线上，凹面衍射光栅放置在标准凸透镜焦点后方并使凹面衍射光栅入缝与标准凸透镜焦点重合；

B)凹球面反射镜主光轴与凹面衍射光栅中心在一条直线上并使凹球面反射镜的曲率中心与衍射光的汇聚点重合，汇聚点位于凹球面反射镜的主光轴与凹面衍射光栅中心所在的同一条直线上；凹球面反射镜用于反射衍射光；

C)衍射光作为测量波面沿原路返回ZYGO干涉仪，在干涉仪中与参考波前发生干涉；

D)干涉结果经计算机软件处理后得到凹面衍射光栅衍射波前检测结果；

E)改变凹面衍射光栅入射光的入射角，可以得到同一凹面衍射光栅在不同入射角情况下同一级次的衍射波前的变化。

2.根据权利要求1所述的凹面衍射光栅衍射波前的检测方法，其特征在于：所述导轨与标准凸透镜主光轴平行，旋转平台可沿导轨移动。

3.根据权利要求1所述的凹面衍射光栅衍射波前的检测方法，其特征在于：所述ZYGO干涉仪隔离1-20Hz的震动，温度15°C-30°C。