[发明专利]一种太阳能中高温选择性吸热涂层有效
申请号: | 201210214392.2 | 申请日: | 2012-06-26 |
公开(公告)号: | CN102734956A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 侯乃升;徐刚;熊斌;吕锡山 | 申请(专利权)人: | 四川中科百博太阳能科技有限公司 |
主分类号: | F24J2/46 | 分类号: | F24J2/46;F24J2/48 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 莫瑶江 |
地址: | 611830 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 高温 选择性 吸热 涂层 | ||
1.一种太阳能中高温选择性吸热涂层,涂布在太阳能元件的基底上,涂层自基底向上包括红外反射层、吸收层、介质减反层,其特征在于所述红外反射层为铝合金层MxAl1-x,其中M选自Si、Cr、Ni中的一种;所述吸收层是铝合金填充的铝合金的氮化物或氧化物或氮氧化物,吸收层采取两层或两层以上叠加而成,从红外反射层向上各层的Al合金在吸收层中的填充因子依次降低,各层分别选自不同x和y的(MxAl1-x)y—MxAl1-xN,(MxAl1-x)y—MxAl1-xO,(MxAl1-x) y—MxAl1-xON三种薄膜中的一种、两种或三种,其中下标y代表该种Al合金在吸收层中的填充因子。
2.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述太阳能红外反射层为MxAl1-x合金层,x的变化范围为0.25~0.65,采用MxAl1-x合金靶溅射制备。
3.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,吸收层的三种薄膜(MxAl1-x)y—MxAl1-xN,(MxAl1-x)y—MxAl1-xO,(MxAl1-x)y—MxAl1-xON,均由高填充因子和低填充因子组成,高填充因子为高吸收层,低填充因子为低吸收层。
4.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述(MxAl1-x)y-MxAl1-xN吸收层,采用MxAl1-x合金靶与N2反应共溅射制备,x的变化范围为0.25~0.65,y的变化范围为0.02~0.6。
5.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述(MxAl1-x)y-MxAl1-xO吸收层,采用MxAl1-x合金靶与O2反应共溅射,x的变化范围为0.25~0.65,y的变化范围为0.02~0.6。
6.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述(MxAl1-x)y-MxAl1-xON吸收层采用MxAl1-x合金靶在氮氧混合气氛中反应溅射,x的变化范围为0.25~0.65,y的变化 范围为0.02~0.6。
7.如权利要求1所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述(MxAl1-x)y—MxAl1-xN,(MxAl1-x)y—MxAl1-xON,(MxAl1-x)y—MxAl1-xO三种薄膜的厚度分别在10~120nm之间。
8.如权利要求4-7之任一所述的太阳能中高温选择性吸热涂层,其特征在于,所述高吸收层和低吸收层通过调整反应气体N2或O2或氮氧混合气氛的流量实现,高吸收层y值为0.2~0.6;低吸收层y值为0.05~0.2。
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