[发明专利]基板处理装置及其异常显示方法、参数设定方法

说明书

本申请是申请号为“201010119670.7”，申请日为“2010年2月20日”，发明名称为“基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及对硅晶片等的基板进行薄膜的生成、氧化、杂质的扩散、退火处理、蚀刻等处理的基板处理装置，尤其涉及基板处理的工作控制中的基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法。

背景技术

基板处理装置具有为了进行基板处理而控制用于输送基板的输送机构的工作控制部。该工作控制部为了进行工作控制而对执行机构(actuator)实施工作命令，通过该执行机构在额定转矩的范围内执行工作命令来进行控制以使上述执行机构本身不发生故障，但即使在额定转矩范围内，对于上述基板处理装置所具有的各输送机构而言，也不能说是安全的。

各输送机构具有分别设定的安全范围的转矩值，通过用该值来进行控制，能够容易地对上述基板处理装置进行控制，即能够抑制在搬运材料时施加于材料的振动。

另一方面，若过于抑制振动则使输送速度降低，从而使生产能力降低。在过度提高输送速度的情况下，由于上述输送机构上安装有用于检测冲撞的传感器(振动传感器)，因此工作停止。

然而，在以往的基板处理装置中，停止的原因是由于转矩限制引起的、还是由于振动传感器导致的，无法分清其原因，因此不能发出针对其停止原因的适当的警报。

而且，即使在以往的基板处理装置中也能使用工作控制中采用的上述执行机构本身具有的转矩限制功能来进行转矩控制。但是，一旦设定则在任何工作中都会实施转矩控制，所以反而会发生因不必要的转矩控制而导致的工作停止。

以往，另外准备用于登记转矩限制值的调整用工具，与各执行机构连接来进行上述输送机构与接口的调整，但进行上述输送机构与上述接口的调整需要将上述调整用工具搬入客户的清洁间，也是不容易的。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而作出的，其提供一种基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法，在基板处理装置的工作控制中具有以下功能：能按用于驱动各输送机构的每一驱动执行机构来设定安全范围的转矩限制值或指定有无转矩限制功能，还具有在上述执行机构停止时能够进行适当的警报显示的功能。

本发明的基板处理装置，包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构、处理该基板的基板处理机构的状态，上述控制部包括控制上述基板输送机构的输送系统控制器，其特征在于，上述操作部具有设定画面，该设定画面用于设定检测上述基板输送机构、上述基板处理机构的状态的传感器的检测条件、和包括对上述基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息，上述输送系统控制器根据来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作，上述输送控制模块根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息控制上述基板输送机构。

本发明的基板处理装置中，在上述基板输送机构的转矩限制值异常或多个上述传感器中的振动传感器检测到异常而上述基板输送机构停止时，上述操作部将包括异常发生时的上述振动传感器的检测结果在内的上述基板输送机构的停止原因信息显示于上述操作画面。而且，该基板处理装置中，上述操作部将包括暂时保存的异常发生前的检测结果的上述基板输送机构的停止原因信息显示于上述操作画面。

本发明的异常显示方法，包括如下步骤：通过检测各基板输送机构的状态的传感器检测异常的步骤；在异常发生时，上述传感器将包括检测结果在内的上述基板输送机构的停止原因信息通知给操作部的步骤；使操作部在操作画面上显示所通知的上述基板输送机构的停止原因信息中所包含的停止原因的步骤。

根据本发明的基板处理装置，包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理该基板的基板处理机构的状态，上述控制部包括控制上述基板输送机构的输送系统控制器，其特征在于，上述操作部具有设定画面，该设定画面用于设定检测上述基板输送机构或上述基板处理机构的状态的传感器的检测条件、和包括对上述基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息，上述输送系统控制器根据来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作，上述输送控制模块根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息控制上述基板输送机构，因此，不需要在设定与转矩相关的信息时在基板处理装置的设置场所设置调整用工具，各种基板输送机构的调整变得容易。而且，能够根据设定的转矩限制相关信息详细地控制各种基板输送机构。