[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

权利要求书

1. 一种液体喷射头，具备：

喷嘴板，具有用于吐出液体的喷嘴；

侧壁，设置于所述喷嘴板的上方，构成长度方向的深度一定的槽；

驱动电极，形成于所述侧壁的壁面；

盖板，设置于所述侧壁的上表面，具备将液体供给至所述槽的供给口和从所述槽排出液体的排出口；以及

封闭件，将比所述槽与所述供给口之间和所述槽与所述排出口之间的各连通部更靠外侧的槽封闭。

2. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述盖板使所述侧壁的长度方向的端部上表面露出而设置于所述侧壁的上表面，

在所述端部上表面形成有与所述驱动电极电连接的引出电极。

3. 如权利要求2所述的液体喷射头，还具备在表面具有布线电极的图案的柔性基板，

所述柔性基板接合于所述端部上表面，所述布线电极与所述引出电极电连接。

4. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，所述槽包括液体吐出用的吐出槽和不吐出液体的虚设槽，所述供给口和所述排出口与所述吐出槽连通，所述吐出槽和所述虚设槽交互地并列地设置。

5. 如权利要求4所述的液体喷射头，其中，所述供给口和所述排出口对所述吐出槽开口而对所述虚设槽封闭。

6. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，还具备设置于所述喷嘴板与所述侧壁之间的增强板，

所述增强板具有与所述喷嘴连通的贯通孔。

7. 如权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头，其中，所述侧壁具有将沿互相相反的方向极化的压电体层叠而成的层叠构造。

8. 如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述盖板使所述侧壁的长度方向上的端部上表面露出而设置于所述侧壁的上表面，

在所述端部上表面形成有与所述驱动电极电连接的引出电极，

所述槽包括液体吐出用的吐出槽和不吐出液体的虚设槽，所述供给口和所述排出口与所述吐出槽连通，所述吐出槽和所述虚设槽交互地并列地设置，

所述引出电极包括共同引出电极和个别引出电极，所述共同引出电极与在构成所述吐出槽的侧壁的吐出槽侧的壁面形成的所述驱动电极电连接，所述个别引出电极与在所述侧壁的虚设槽侧的壁面形成的驱动电极电连接，

所述个别引出电极设置于所述侧壁的所述端部上表面的端部侧，所述共同引出电极设置于所述侧壁的所述端部上表面的所述盖板侧。

9. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，

所述驱动电极延伸至所述侧壁的长度方向上的端部，

在所述吐出槽侧的壁面形成的所述驱动电极形成为，在所述侧壁的所述端部的一侧，上端与所述端部上表面相比而在槽的深度方向上更深，

在所述虚设槽侧的壁面形成的所述驱动电极形成为，在比所述侧壁的所述端部更靠近所述盖板侧，上端与所述端部上表面相比而在槽的深度方向上更深。

10. 如权利要求8或9所述的液体喷射头，其中，

所述侧壁的吐出槽侧的壁面与所述端部上表面之间的角部在所述侧壁的所述端部的一侧被倒角，

所述侧壁的虚设槽侧的壁面与所述端部上表面之间的角部在比所述侧壁的所述端部更靠近所述盖板侧被倒角。

11. 如权利要求8或9所述的液体喷射头，还具备具有形成于外周侧的共同布线电极和比所述共同布线电极在更靠内侧形成的个别布线电极的柔性基板，

所述柔性基板接合于所述端部上表面，所述共同布线电极与所述共同引出电极电连接，所述个别布线电极与所述个别引出电极电连接。

12. 一种液体喷射装置，具备：

权利要求1~3的任一项所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头往复移动的移动机构；

将液体供给至所述液体喷射头的液体供给管；以及

将所述液体供给至所述液体供给管的液体罐。