[发明专利]使用激光的工件加工装置

权利要求书

1.一种使用激光的工件加工装置，其向工件照射激光来进行加工，其中，

该使用激光的工件加工装置具有：

工作台，其放置待加工的工件；

台驱动单元，其用于使上述工作台沿着在与放置面平行的面内彼此垂直的x方向和y方向移动；

激光输出部，其输出激光；

偏转/旋转单元，其使从上述激光输出部射出的激光从出射轴偏转，并且使偏转后的激光绕出射轴旋转；以及

扫描控制单元，其对上述台驱动单元和上述偏转/旋转单元的驱动进行协调控制，在工件上扫描激光。

2.根据权利要求1所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述偏转/旋转单元具有：

相对配置的第1楔形棱镜和第2楔形棱镜；

旋转单元，其用于使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜绕上述出射轴旋转；以及

会聚透镜，其使激光会聚于工件上。

3.根据权利要求2所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述偏转/旋转单元的旋转单元具有：

第1电动机，其用于使上述第1楔形棱镜绕上述出射轴旋转；以及

第2电动机，其用于使上述第2楔形棱镜绕上述出射轴旋转。

4.根据权利要求1所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述偏转/旋转单元的旋转单元是内部配置有上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜的中空电动机。

5.根据权利要求1所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述扫描控制单元在扫描直线状加工线的情况下，由上述台驱动单元沿着x方向或y方向对上述工作台进行移动控制，

上述扫描控制单元在扫描曲线状加工线的情况下，由上述台驱动单元沿着x方向和y方向对上述工作台进行移动控制，并且由上述偏转/旋转单元使激光旋转。

6.根据权利要求5所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述偏转/旋转单元具有：

相对配置的第1楔形棱镜和第2楔形棱镜；

旋转单元，其用于使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜绕上述出射轴旋转；以及

会聚透镜，其使激光会聚于工件上，

上述扫描控制单元在沿着包含直线部和曲线部的加工线扫描激光时，

在扫描加工线的直线部的情况下，由上述台驱动单元沿着x方向或y方向对上述工作台进行移动控制，

在扫描加工线的曲线部的情况下，由上述台驱动单元沿着x方向和y方向对上述工作台进行移动控制，并且使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜绕上述出射轴朝相同方向旋转。

7.根据权利要求5所述的使用激光的工件加工装置，其中，

上述偏转/旋转单元具有：

相对配置的第1楔形棱镜和第2楔形棱镜；

旋转单元，其用于使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜绕光轴旋转；以及

会聚透镜，其使激光会聚于工件上，

上述扫描控制单元在沿着包含直线部和曲线部的加工线扫描激光时，

在扫描加工线的直线部的情况下，由上述台驱动单元沿着x方向或y方向对上述工作台进行移动控制，

在扫描加工线的曲线部的情况下，由上述台驱动单元在包含上述曲线部在内的上述曲线部的前后区域沿着x方向和y方向对上述工作台进行移动控制，并且使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜绕上述出射轴朝相反方向旋转。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的使用激光的工件加工装置，其中，

该使用激光的工件加工装置还具有用于使激光的会聚点旋转的会聚点旋转机构，该会聚点旋转机构配置于上述激光输出部与上述偏转/旋转单元之间，由1对楔形棱镜和内部配置上述1对楔形棱镜的中空电动机构成。