[发明专利]一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置无效
| 申请号： | 201210222215.9 | 申请日： | 2012-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102738056A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;杨开明;李鑫;汪劲松;胡金春;张鸣;徐登峰;穆海华;尹文生;余东东;崔乐卿 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 气缸 伸缩 推杆 式晶圆 夹持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置，其特征在于：该夹持装置含有一个薄片V型托盘（101），V型托盘前端的两侧分别设有一个固定元件（102），该固定元件呈上下粗中间细的鼓形，其母线由倾斜的直线段(102a)和圆弧段(102b)光滑过渡而成；在薄片V型托盘上设有四个凸起支撑元件(103)，该四个凸起支撑元件(103)位于与晶圆同心的圆周上，且对角的两个凸起支撑元件(103)的连线通过晶圆圆心；薄片V型托盘（101）末端安装有一个气动装置（200），该气动装置包括气缸(202)、推杆(201)和限位块(203)；气缸（202）固定在薄片V型托盘（101）上，限位块(203)固定在气缸(202)上，用于限定推杆的移动距离；推杆(201)一端与弹性元件(108)连接，另一端与气动装置连接，使推杆(201)带动弹性元件(108)沿水平直线移动；弹性元件（108）两侧对称布置有固定件（106）；每个固定件(106)上设有一个与固定元件(102)形状相同的可移动夹子（105）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
