[发明专利]一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法

权利要求书

1.一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，用于检测NH₃和NO₂气体，其特征在于，包括：

选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；

采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理；

将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中，在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜，重复该浸入步骤并控制重复次数，在该压电基片上得到不同层数不同厚度的PPy/PSS/PANI复合敏感膜；以及

去除该压电基片表面的光刻胶及光刻胶上生长的PPy/PSS/PANI复合敏感膜，并封装。

2.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，其特征在于，所述压电基片选用石英基片，利用该基片的压电效应使其在插值换能器激励下激发声表面波。

3.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，其特征在于，所述采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理，包括：

将该压电基片浸入2mg/ml的3-Mercapto-1-propanesulfonic acid sodium salt(MPS)溶液中2小时，去离子水清洗吹干后再将该压电基片浸入到pH为4的10mg/ml的poly allylamine hydrochloride(PAH)溶液中10分钟，并用去离子水清洗并吹干。

4.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，其特征在于，所述将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中，在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜，具体包括：

将处理后的该压电基片浸入10mg/ml的聚阴离子(poly styrene sulfonic acid sodium salt，PSS)溶液中10分钟使其表面吸附一层PSS，用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干；然后将该压电基片浸入0.006M的FeCl₃、0.026M的p-toluene sulfonic acid(p-TSA)和0.02M的pyrrole的搅拌反应15分钟并过滤好的溶液中10分钟在PSS上自组装一层Polypyrrole(PPy)，用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干；然后将该压电基片再次浸入PSS溶液中10分钟，用去离子清洗吹干后接着将该压电基片浸入pH为2.8的20mg/ml的翠绿亚胺基的Polyaniline(PANI)的dimethyl acetamide(DMAc)溶液中10分钟，则在该压电基片上生长了一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜。

5.根据权利要求4所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，其特征在于，所述用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干，用于提高膜的均匀性和粘附性。