[发明专利]一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法无效
申请号: | 201210225320.8 | 申请日: | 2012-06-29 |
公开(公告)号: | CN102735753A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李冬梅;陈鑫;梁圣法;詹爽;谢常青;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N29/036 | 分类号: | G01N29/036;G01N29/22 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面波 气体 传感器 多层 敏感 制备 方法 | ||
1.一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,用于检测NH3和NO2气体,其特征在于,包括:
选择一压电基片,在该压电基片表面涂敷光刻胶,对该压电基片表面进行光刻,露出该压电基片表面的敏感膜区域;
采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理;
将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中,在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜,重复该浸入步骤并控制重复次数,在该压电基片上得到不同层数不同厚度的PPy/PSS/PANI复合敏感膜;以及
去除该压电基片表面的光刻胶及光刻胶上生长的PPy/PSS/PANI复合敏感膜,并封装。
2.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,其特征在于,所述压电基片选用石英基片,利用该基片的压电效应使其在插值换能器激励下激发声表面波。
3.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,其特征在于,所述采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理,包括:
将该压电基片浸入2mg/ml的3-Mercapto-1-propanesulfonic acid sodium salt(MPS)溶液中2小时,去离子水清洗吹干后再将该压电基片浸入到pH为4的10mg/ml的poly allylamine hydrochloride(PAH)溶液中10分钟,并用去离子水清洗并吹干。
4.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,其特征在于,所述将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中,在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜,具体包括:
将处理后的该压电基片浸入10mg/ml的聚阴离子(poly styrene sulfonic acid sodium salt,PSS)溶液中10分钟使其表面吸附一层PSS,用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干;然后将该压电基片浸入0.006M的FeCl3、0.026M的p-toluene sulfonic acid(p-TSA)和0.02M的pyrrole的搅拌反应15分钟并过滤好的溶液中10分钟在PSS上自组装一层Polypyrrole(PPy),用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干;然后将该压电基片再次浸入PSS溶液中10分钟,用去离子清洗吹干后接着将该压电基片浸入pH为2.8的20mg/ml的翠绿亚胺基的Polyaniline(PANI)的dimethyl acetamide(DMAc)溶液中10分钟,则在该压电基片上生长了一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜。
5.根据权利要求4所述的声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法,其特征在于,所述用去离子水冲洗掉粘附性比较差的基团并吹干,用于提高膜的均匀性和粘附性。
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