[发明专利]研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台

权利要求书

1.一种研磨垫整理方法，其特征在于，在对晶圆进行研磨时，研磨盘下压对研磨垫进行整理，在研磨完一片晶圆后至开始进行下一片晶圆研磨之前的过程中，研磨盘以零压力停留在研磨垫上；在所述研磨完一片晶圆后至开始进行下一片晶圆研磨之前的过程中，利用至少一个清扫工具对研磨垫进行残留物清除；在对晶圆进行研磨时，收起所述清扫工具。

2.根据权利要求1所述的研磨垫整理方法，其特征在于，所述清扫工具在上下驱动部件驱动下上下移动，所述清扫工具在开合驱动部件驱动下进行向内移动或向外移动。

3.根据权利要求2所述的研磨垫整理方法，其特征在于，当所述清扫工具的数量是两个以上时，所述清扫工具绕所述研磨盘的轴心线均匀分布。

4.根据权利要求2所述的研磨垫整理方法，其特征在于，所述清扫工具的数量是两个，所述上下驱动部件采用单向驱动汽缸，所述开合驱动部件采用双向驱动汽缸。

5.根据权利要求1所述的研磨垫整理方法，其特征在于，所述清扫工具包括刷柄和刷毛，所述刷毛安装于所述刷柄的一端。

6.一种研磨垫整理器，其特征在于，包括研磨盘和驱动轴，所述驱动轴驱动所述研磨盘转动；还包括至少一个清扫工具、上下驱动部件以及开合驱动部件，所述上下驱动部件安装于所述驱动轴上，所述清扫工具在上下驱动部件驱动下上下移动，所述清扫工具在开合驱动部件驱动下进行向内移动或向外移动；在对晶圆进行研磨时，研磨盘下压对研磨垫进行整理，在研磨完一片晶圆后至开始进行下一片晶圆研磨之前的过程中，研磨盘以零压力停留在研磨垫上；在所述研磨完一片晶圆后至开始进行下一片晶圆研磨之前的过程中，利用至少一个清扫工具对研磨垫进行残留物清除；在对晶圆进行研磨时，收起所述清扫工具。

7.根据权利要求6所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述清扫工具包括刷柄和刷毛，所述刷柄的一端安装所述刷毛，所述刷柄的另一端安装于开合驱动部件的对应输出端。

8.根据权利要求6所述的研磨垫整理器，其特征在于，当所述清扫工具的数量是两个以上时，所述清扫工具绕所述研磨盘的轴心线均匀分布。

9.根据权利要求8所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述清扫工具的数量是两个，所述上下驱动部件采用单向驱动汽缸，所述开合驱动部件采用双向驱动汽缸。

10.一种研磨机台，包括研磨垫，其特征在于，还包括如权利要求6-9中任意一项所述的研磨垫整理器，所述研磨垫整理器设置于所述研磨垫上。