[发明专利]一种椭圆偏振光谱仪中单色仪的校准方法

权利要求书

1.一种椭圆偏振光谱仪中单色仪的校准方法，其特征是包括以下步骤：

（1）将待校准的椭圆偏振光谱仪的起偏臂和检偏臂调至水平透射模式；

（2）旋转起偏臂中的起偏器，将氙灯出射光调为P方向振动的线偏光，在起偏臂和检偏臂之间放入检偏器，旋转检偏器至消光；

（3）将标准石英波片放入起偏臂和检偏器之间，使入射光线垂直波片表面，旋转标准石英波片使光轴沿水平方向，再次消光；

（4）旋转起偏臂中的起偏器，将出射线偏光振动方向调至与P方向成45度角方向；

（5）撤出检偏器，扫描需校准波段的椭偏光谱，得到标准石英波片在P、S两方向上位相差色散曲线；

（6）将上述步骤（5）得到的P、S两方向上位相差色散曲线与所使用的标准石英波片在相同条件下的P、S两方向上位相差的理论色散曲线进行比较，将实际波长校准至理论波长，实现对椭圆偏振光谱仪中单色仪波长的校准。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于步骤（6）中计算标准石英波片在P、S两方向上位相差的理论色散曲线时，取0～360度范围内的曲线作为标准石英波片在P、S两方向上位相差的理论曲线。

3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于将实际波长校准至理论波长，具体步骤为：①在步骤（5）得到的P、S两方向上位相差色散曲线与理论色散曲线图中作等相位线，等相位的水平直线与两曲线相交，两个交点间的波长差值即为该点的校准值；

②如果实际测量的P、S两方向上位相差色散曲线相对理论色散曲线整体向右平移，单色仪波长的准确读数应该在原读数的基础上减去校准值；如果实际测量的P、S两方向上位相差色散曲线相对理论色散曲线整体向左平移，单色仪波长的准确读数应该在原读数的基础上加上校准值。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的校准方法，其特征在于标准石英波片几何厚度为635μm。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的校准方法，其特征在于入射线波长为820～900nm。

6.根据权利要求4中所述的校准方法，其特征在于入射线波长为820～900nm。