[发明专利]非粘合溅射结构以及形成用于溅射的结构的方法

权利要求书

1.一种非粘合溅射结构，包括：

溅射靶，具有板状且包括靶材料；

背板，具有板状，其中所述背板面对所述溅射靶，并且所述溅射靶和所述背板的面对表面彼此接触，

所述背板包括：

主体，具有纵轴；以及

冷却构件，冷却材料通过该冷却构件在所述主体的实质上平行于所

述纵轴的纵向方向上流动，其中所述冷却材料将由溅射而从所述溅射靶

产生的热传导到所述背板的外部；以及

多个非粘合紧固构件，保持所述背板和所述溅射靶的面对表面彼此接触，其中所述非粘合紧固构件延伸穿过所述背板的厚度且对应于所述背板的不包括所述冷却构件的区域。

2.如权利要求1所述的非粘合溅射结构，

其中所述背板还包括在所述冷却构件的下端的两个相对侧处的向外延伸的台阶，其中所述台阶沿所述主体的纵向方向延伸，所述下端是开放的且将所述冷却构件露出到外部，以及

还包括具有板状的盖，其中所述盖附接到所述台阶，与所述冷却构件的开放的下端重叠且将所述冷却构件与外部封闭。

3.如权利要求1所述的非粘合溅射结构，其中所述冷却构件包括：

入口，在所述背板的第一纵向端处，所述冷却材料通过所述入口提供到所述冷却构件；以及

出口，在所述背板的所述第一纵向端处，所述冷却材料通过所述出口排出到外部，

其中所述冷却构件从在所述第一纵向端处的所述入口、到所述背板的相对的第二纵向端以及到在所述背板的所述第一纵向端处的所述出口是连续的。

4.如权利要求1所述的非粘合溅射结构，其中：

所述背板的所述冷却构件与所述溅射靶的包括靶材料的溅射蚀刻量大于溅射靶的剩余第二部分的第一区域重叠。

5.如权利要求4所述的非粘合溅射结构，其中：

所述非粘合紧固构件与所述溅射靶的包括靶材料的溅射蚀刻量小于所述第一区域的第二区域重叠。

6.如权利要求1所述的非粘合溅射结构，其中：

所述非粘合紧固构件沿所述背板的两个相对边缘以预定的距离间隔开且平行于所述背板的纵轴，且沿所述背板的中心部分间隔开且平行于所述背板的纵轴，以及

在平行于所述纵轴的方向上，在所述背板的中心部分处的所述非粘合紧固构件在沿所述背板的边缘的相邻非粘合紧固构件之间。

7.如权利要求6所述的非粘合溅射结构，还包括：

在彼此接触的所述溅射靶和所述背板的中心处的定位销，

其中当使所述溅射靶和所述背板彼此接触时，所述定位销将所述溅射靶和所述背板相对于彼此居中。

8.如权利要求2所述的非粘合溅射结构，其中：

所述背板还包括第一紧固件接收构件，所述第一紧固件接收构件延伸穿过所述背板的厚度并且所述非粘合紧固构件的前端部分穿过所述第一紧固件接收构件，

其中，

所述第一紧固件接收构件的下部的宽度大于所述第一紧固件接收构件的上部的宽度，所述非粘合紧固构件的头部接收在所述下部中，

所述第一紧固件接收构件的上部的宽度大于所述前端部分的宽度，且在所述第一紧固件接收构件的上部的内壁与所述前端部分的外表面之间有预定的空间，以及

所述第一紧固件接收构件的下部的宽度大于所述头部的宽度，且所述第一紧固件接收构件的下部的内壁与所述头部的外表面之间有预定的空间。

9.如权利要求1所述的非粘合溅射结构，其中：

所述溅射靶和所述背板在20°C至160°C的温度具有19×10^-6/°C或更小的平均热膨胀系数。

10.一种形成用于溅射的结构的方法，该方法包括：

将包括靶材料的溅射靶设置为面对且接触背板；

其中所述背板包括：

主体，具有纵轴；以及

冷却构件，冷却材料通过所述冷却构件在所述主体的实质上平行于所述纵轴的纵向方向上流动，其中所述冷却材料将由溅射而从所述溅射靶产生的热传导到所述背板的外部；以及

设置多个非粘合紧固构件穿过所述背板的厚度且进入到所述溅射靶中，

其中所述多个非粘合紧固构件对应于所述背板的不包括所述冷却构件的区域，并保持所述背板和所述溅射靶的面对表面彼此接触。