[发明专利]激光加工机用氮供给装置

权利要求书

1.一种激光加工机用氮供给装置，其包括用于生成氮的氮生成部件、用于将利用该氮生成部件生成的氮升压到预先设定好的储存压力的加压机、用于储存利用该加压机升压后的氮的缓冲罐、以及用于向激光加工机供给该缓冲罐内的氮的氮供给路径，其特征在于，

与上述氮供给路径并列地设有第2氮供给路径，该第2氮供给路径具有排出量多于上述加压机的第2加压机，在上述氮供给路径中设有第1开闭阀，在上述第2氮供给路径中的上述第2加压机的吸入侧设有第2开闭阀，并且，在该激光加工机用氮供给装置中设有压力开关，该压力开关检测上述缓冲罐内的压力，在检测出的压力为预先设定好的切换压力以上时，打开上述第1开闭阀并关闭上述第2开闭阀，在检测出的压力小于上述切换压力时，关闭上述第1开闭阀并打开上述第2开闭阀。

2.根据权利要求1所述的激光加工机用氮供给装置，其特征在于，

在上述第2氮供给路径中的上述第2加压机和上述第2开闭阀之间设有将来自外部氮供给源的氮经由第3开闭阀导入到上述第2氮供给路径中的外部氮导入路径，并且，在上述缓冲罐内的压力小于预先设定好的下限压力时，上述压力开关打开上述第3开闭阀并关闭上述第1开闭阀及上述第2开闭阀。

3.根据权利要求1所述的激光加工机用氮供给装置，其特征在于，

上述氮生成部件是用于生成纯度为99．999％以上的氮的P SA装置。

4.根据权利要求2所述的激光加工机用氮供给装置，其特征在于，

上述氮生成部件是用于生成纯度为99．999％以上的氮的P SA装置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的激光加工机用氮供给装置，其特征在于，

上述第2加压机在吸入侧压力达到预先设定好的运转压力时自动地开始运转，在吸入侧压力小于上述运转压力时自动地停止。