[发明专利]气液混合流体生成装置、气液混合流体生成方法、处理装置以及处理方法

权利要求书

1.一种气液混合流体生成装置，其特征在于，具备：

容器；

液体供给流路，与上述容器内连通，用于将溶解有气体的液体向上述容器内供给；

内压调整部，能够将上述容器切换为密闭状态和开放状态，在从上述液体供给流路向上述容器进行送液的期间，使上述容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力；以及

气体供给流路，与上述容器内连通，用于向被供给了上述液体的密闭状态的上述容器内的空间供给气体。

2.如权利要求1所述的气液混合流体生成装置，其特征在于，

具备液体排出流路，该液体排出流路与上述容器内连通，用于排出上述容器内的上述液体；

通过从上述气体供给流路流入上述容器内的空间的上述气体，使上述容器内的上述液体从上述液体排出流路排出。

3.如权利要求2所述的气液混合流体生成装置，其特征在于，

具备判断部，该判断部判断从上述气体的供给开始起是否经过了规定时间；

在通过上述判断部判断为从上述气体的供给开始起经过了上述规定时间的情况下，通过从上述气体供给流路流入上述容器内的空间的上述气体，使上述容器内的上述液体从上述液体排出流路排出。

4.如权利要求1~3中任一项所述的气液混合流体生成装置，其特征在于，

上述内压调整部，在从利用上述容器内的上述液体进行处理的多个处理对象物中最后的处理结束起到接下来的最初的处理开始为止的期间，使上述容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力。

5.如权利要求1~3中任一项所述的气液混合流体生成装置，其特征在于，

在流过上述液体供给流路的上述液体中溶解的上述气体与流过上述气体供给流路的上述气体为不同种类的气体。

6.一种气液混合流体生成方法，其特征在于，具有以下工序：

使用于供给溶解有气体的液体的液体供给流路所连通的容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力、并向上述容器内供给上述液体的工序；

使供给了上述液体的开放状态的上述容器为密闭状态的工序；以及

向供给了上述液体的密闭状态的上述容器内的空间供给气体的工序。

7.一种处理装置，其特征在于，具备：

容器；

液体供给流路，与上述容器内连通，用于将溶解有气体的液体向上述容器内供给；

内压调整部，能够将上述容器切换为密闭状态和开放状态，在从上述液体供给流路向上述容器进行送液的期间，使上述容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力；

气体供给流路，与上述容器内连通，用于向被供给了上述液体的密闭状态的上述容器内的空间供给气体；以及

处理液供给流路，与上述容器内连通，用于将上述容器内的上述液体向处理对象物供给。

8.一种处理方法，其特征在于，具有以下工序：

使用于供给溶解有气体的液体的液体供给流路所连通的容器为开放状态而使上述容器的内压小于将上述液体供给流路内的上述液体向上述容器推压的压力、并向上述容器内供给上述液体的工序；

使供给了上述液体的开放状态的上述容器为密闭状态的工序；

向供给了上述液体的密闭状态的上述容器内的空间供给气体的工序；以及

将供给了上述气体的上述容器内的上述液体向处理对象物供给的工序。