[发明专利]一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法有效

专利信息
申请号: 201210236293.4 申请日: 2012-07-05
公开(公告)号: CN102735187A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 惠梅;段磊;龚诚;赵跃进 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 环形 孔径 边界 拼接 搜索 方法
【权利要求书】:

1.一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法,该方法应用于小口径干涉仪测量大口径非球面面形的系统中,其特征在于:非球面与干涉仪发出的参考球面波的切点两边有内外两个非球面度相同的点,利用非球面口径、相对孔径和CCD采样分辨率,确定各个子孔径出现干涉的内外边界。

2.根据权利要求1所述的一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法,其特征在于:对于米量级的被测抛物面主镜数据拼接,相邻子孔径无需存在重叠区域,容易取得刚好完全覆盖整个镜面的环形子孔径数据,前一个子孔径发生干涉的外边界与后一个子孔径发生干涉的内边界重合,计算出第一个干涉极限的外边界临界点坐标,再将第一个子孔径外边界坐标作为第二个子孔径内边界坐标,并由零级条纹干涉相切关系,可求出第二个子孔径外边界坐标,逐步向外推,直到子孔径覆盖被测非球面边缘,即可完成子孔径的划分。

3.根据权利要求1所述的一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法,其特征在于:基于相位测量的拼接算法要保证与前一个子孔径的测量数据间有适当的重叠区域,利用重叠区域的相关性来求解非球面抛物面镜的相对调整误差,最小数目子孔径划分是由相邻子孔径无重叠区域时得到的,根据设定的重叠系数比可得到存在重叠区域的子孔径边界坐标和相邻最小数目划分子孔径临界点坐标的关系,计算出重叠区域干涉极限的内边界坐标,并由零级条纹干涉相切关系,可求出重叠区域干涉极限的外边界坐标,逐步向外推,直到子孔径覆盖被测非球面边缘,即可完成子孔径的划分。

4.根据权利要求2所述的一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法,其特征在于:根据被测抛物面镜的口径、相对孔径可得到非球面顶点曲率半径和非球面子午面方程,结合最大偏离非球面度方程,可以解得第一个干涉临界点坐标,又非球面与参考球面波切点两侧有两个相同的最大偏离非球面度,且由零级条纹相切关系,联立方程组可求出第二个干涉临界点坐标和干涉仪移动距离,将前面得到的临界点坐标和干涉仪移动距离作为已知量,根据前述原理迭代计算可以依次得到其余子孔径临界点坐标和干涉仪移动距离。

5.根据权利要求3所述的一种用于环形子孔径边界拼接的搜索方法,其特征在于:相邻子孔径存在重叠区域,需要先计算无重叠区域的最小数目划分的子孔径临界点坐标,然后根据预先设定的重叠系数,得到存在重叠区域的子孔径边界坐标和相邻最小数目划分子孔径临界点坐标的关系,进而确定第一个子孔径的边界坐标,又非球面与参考球面波切点两侧有两个相同的最大偏离非球面度,且由零级条纹相切关系,联立方程组可求出第二个子孔径的边界坐标和干涉仪移动距离,将前面得到的子孔径边界坐标、最小数目划分的子孔径临界点坐标和干涉仪移动距离作为已知量,根据前述原理迭代计算可以依次得到其余有重叠区域子孔径边界坐标和干涉仪移动距离。

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