[发明专利]一种二氧化钛基导电薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210236458.8 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN102732879A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 宋晨路;王菊;刘涌;韩高荣;杨振辉;王慷慨;苏婷 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种二氧化钛基导电薄膜的制备方法，包括如下的步骤：
1) 将基板清洗干净；
2)将钛酸四丁酯和乙酰丙酮放入乙醇中，搅拌混合，得到A溶液；将乙酸和水放入乙醇中，搅拌混合，得到B溶液；上述钛酸四丁酯:水:乙酰丙酮:乙酸的摩尔比为1:6:0.3:0.2；
3)将步骤2)中的B溶液逐滴加入A溶液中，搅拌混合均匀，配置浓度为0.01M～0.5M溶胶；
4) 将步骤3)中得到的溶胶在室温下陈化22h以上，得到凝胶；
5) 利用旋涂仪将凝胶旋涂在步骤1)的基板上，干燥，挥发除去乙醇，得到干膜；
6) 将步骤5)得到的干膜进行热处理，热处理温度≥400℃，真空度不低于10-3Pa，保温时间为30 min～120min。
2. 根据权利要求1所述的二氧化钛基导电薄膜的制备方法，其特征是所述的基板是玻璃载玻片、石英玻璃或硅片。
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