[发明专利]等离子体反应装置和石英窗加热方法

权利要求书

1.一种等离子体反应装置，其特征在于，包括：腔体、承载装置、吸热层、红外加热装置和加热电源，所述腔体包括腔体壁和设置于所述腔体壁上方的石英窗，所述承载装置位于所述腔体底部，其中：

所述吸热层覆盖于所述石英窗上，所述红外加热装置位于所述石英窗上方；

所述加热电源，用于向所述红外加热装置供电；

所述红外加热装置，用于向所述石英窗发射红外线；

所述吸热层，用于吸收所述红外线以实现对所述石英窗的加热。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述等离子体反应装置还包括：罩设于所述石英窗之上的壳体，所述红外加热装置固定于所述壳体的内壁上。

3.根据权利要求2所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述红外加热装置包括：内红外加热装置和外红外加热装置，所述外红外加热装置围设于所述内红外加热装置的外侧，所述内红外加热装置通过第一固定件固定于所述壳体的内壁上，所述外红外加热装置通过第二固定件固定于所述壳体的内壁上。

4.根据权利要求3所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述内红外加热装置的形状为环状，所述外红外加热装置的形状为环状。

5.根据权利要求3所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述加热电源位于所述腔体的外部，所述加热电源通过第一连接线与所述内红外加热装置电连接，所述加热电源通过第二连接线与所述外红外加热装置电连接，所述第一固定件上开设有第一连接孔，所述第二固定件上开设有第二连接孔，所述第一连接线穿过所述第一连接孔，所述第二连接线穿过所述第二连接孔。

6.根据权利要求3所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述等离子体反应装置还包括：温度控制器，位于所述内红外加热装置上方的第一测温装置和位于所述外红外加热装置上方的第二测温装置，其中：

所述第一测温装置固定于所述壳体的内壁上，所述第二测温装置固定于所述壳体的内壁上；

所述第一测温装置，用于对所述内红外加热装置的温度进行测量，得出第一测量温度；

所述第二测温装置，用于对所述外红外加热装置的温度进行测量，得出第二测量温度；

所述温度控制器，用于比较所述第一测量温度和第一设定温度，并根据所述第一测量温度和所述第一设定温度的差值控制所述加热电源，由所述加热电源调整所述内红外加热装置的加热功率；以及比较所述第二测量温度和第二设定温度，并根据所述第二测量温度和所述第二设定温度的差值控制所述加热电源，由所述加热电源调整所述外红外加热装置的加热功率。

7.根据权利要求6所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述加热电源包括：第一继电器和第二继电器，所述第一继电器通过所述第一连接线与所述内红外加热装置连接，所述第二继电器通过所述第二连接线与所述外红外加热装置连接；

所述第一继电器，用于在所述温度控制器的控制下导通或者断开，以实现调整所述内红外加热装置的加热功率；

所述第二继电器，用于在所述温度控制器的控制下导通或者断开，以实现调整所述外红外加热装置的加热功率。

8.根据权利要求1所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述等离子体反应装置还包括：设置于所述壳体外部的匹配器和设置于所述壳体内部的线圈，所述线圈位于所述石英窗和所述红外加热装置之间，所述线圈通过所述线圈连接条与所述匹配器连接。

9.根据权利要求1至8任一所述的等离子体反应装置，其特征在于，所述吸热层的材料为吸热胶。

10.一种石英窗加热方法，其特征在于，所述方法基于等离子体反应装置，所述等离子体反应装置包括：腔体、承载装置、吸热层、红外加热装置和加热电源，所述腔体包括腔体壁和设置于所述腔体壁上方的石英窗，所述承载装置位于所述腔体底部，所述吸热层覆盖于所述石英窗上，所述红外加热装置位于所述石英窗上方，所述加热电源用于向所述红外加热装置供电；

所述方法包括：

所述红外加热装置向所述石英窗发射红外线；

所述吸热层吸收所述红外线以实现对所述石英窗的加热。