[发明专利]一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置无效

专利信息
申请号: 201210236766.0 申请日: 2012-07-10
公开(公告)号: CN102760674A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 刘良玉;郭立;张宝锋;苏卫中;吕文利 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 软着陆 扩散 运动 执行 装置
【权利要求书】:

1.一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,包括水平运动部件和垂直运动部件;

所述水平运动部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平导轨;该水平导轨上装有可相对该水平导轨滑动的连接板,所述底板上装有带轮安装座,该带轮安装座内装有与一驱动装置相联的同步带轮,安装在同步带轮上的同步带与所述连接板固定连接;

所述垂直运动部件的结构为,包括固定在机架上的支撑座,穿过支撑座并与之固定一体的升降导轨,套装在升降导轨上并可沿升降导轨竖向滑动的升降滑块;

所述升降滑块与所述底板固定相连,所述底板与一升降机的机身固定相连。

2.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述升降机固定在升降机支架上,所述升降机通过传动轴经升降减速机与一升降驱动电机相联。

3.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述驱动装置包括水平驱动电机,通过联轴器与水平驱动电机相连的水平减速机;所述水平减速机的输出端与所述同步带轮相联。

4.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述升降机为蜗轮蜗杆升降机。

5.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述底板上固定连接有两根水平导轨,每根水平导轨通过装在水平导轨上的水平滑块与所述连接板相连。

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