[发明专利]一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置无效
申请号: | 201210236766.0 | 申请日: | 2012-07-10 |
公开(公告)号: | CN102760674A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 刘良玉;郭立;张宝锋;苏卫中;吕文利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 软着陆 扩散 运动 执行 装置 | ||
1.一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,包括水平运动部件和垂直运动部件;
所述水平运动部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平导轨;该水平导轨上装有可相对该水平导轨滑动的连接板,所述底板上装有带轮安装座,该带轮安装座内装有与一驱动装置相联的同步带轮,安装在同步带轮上的同步带与所述连接板固定连接;
所述垂直运动部件的结构为,包括固定在机架上的支撑座,穿过支撑座并与之固定一体的升降导轨,套装在升降导轨上并可沿升降导轨竖向滑动的升降滑块;
所述升降滑块与所述底板固定相连,所述底板与一升降机的机身固定相连。
2.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述升降机固定在升降机支架上,所述升降机通过传动轴经升降减速机与一升降驱动电机相联。
3.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述驱动装置包括水平驱动电机,通过联轴器与水平驱动电机相连的水平减速机;所述水平减速机的输出端与所述同步带轮相联。
4.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述升降机为蜗轮蜗杆升降机。
5.根据权利要求1所述的用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,所述底板上固定连接有两根水平导轨,每根水平导轨通过装在水平导轨上的水平滑块与所述连接板相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造