[发明专利]一种基于液晶材料的可调谐超材料光镊

权利要求书

1.一种基于液晶材料的可调谐超材料光镊，其特征在于，该超材料是基于多层结构(2)的周期孔阵列；所述的多层结构(2)是通过在玻璃衬底(1)上生长金属层(3)、液晶材料层(4)、金属层(3)和氧化层(5)而成，金属层的宽度在1微米至2厘米、高度在20纳米至10微米，液晶材料层宽度在1微米至2厘米、高度在20纳米至10微米；氧化层宽度在1微米至2厘米、高度在1纳米至1微米；所述的周期性孔矩阵孔(7)是三角形、方形、圆形、椭圆形、弧形、十字形、六边形；孔的宽度在20纳米至1微米，高度在60纳米至30微米。

2.根据权利要求1所述的可调谐超材料光镊，其特征在于，金属层是Al、Ag、Au、Cu、Ni。

3.根据权利要求1所述的可调谐超材料光镊，其特征在于，液晶材料层是向列相液晶，近晶相液晶，胆甾相液晶，碟型液晶，热致液晶，重现性液晶，手性液晶，负性液晶，端烯类液晶，嘧啶类液晶，含氟类液晶，炔类液晶，乙烷类液晶，苯基环己烷类液晶。

4.根据权利要求1所述的可调谐超材料光镊，其特征在于，氧化层是In₂O₃，SnO₂，ITO。

5.根据权利要求1所述的可调谐超材料光镊，其特征在于，多层结构通过材料生长工艺实现，包括电子束蒸发、金属有机化合物化学气相沉淀、气相外延生长、分子束外延。

6.根据权利要求1所述的可调谐超材料光镊，其特征在于，周期性孔矩阵通过干法或者湿法刻蚀工艺实现，包括电子束曝光、聚焦离子束曝光、反应离子束刻蚀。