[发明专利]一种高温超导Josephson双晶结的制备方法无效
| 申请号： | 201210238011.4 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN102738381A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 许伟伟;花涛;安德越;陈健;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 超导 josephson 双晶 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高温超导Josephson双晶结的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）采取先做先驱膜再进行后处理的方式，在双晶基底片上制备超导薄膜；
（2）采用真空热蒸发镀银的方法，在超导薄膜上蒸镀银膜电极；
（3）在蒸好银的薄膜上制备出掩膜图形：在超导薄膜上甩上一层AZ正性光刻胶，曝光、显影后得到微桥图形；
（4）将光刻显影好的掩膜图形样品，放入稀磷酸中刻蚀薄膜；
（5）采用脉冲式刻蚀对磷酸刻蚀后的样品进行离子刻蚀；
（6）用丙酮去除光刻胶；
（7）采用脉冲式刻蚀对没有光刻胶保护的超导薄膜进行离子减薄刻蚀。
2.根据权利要求1所述的高温超导Josephson双晶结的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，超导超导薄膜是TlBaCaCuO薄膜、BiSrCaCuO或YBaCuO薄膜。
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