[发明专利]分流装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种分流装置，特别是涉及一种使两种不同液体可以分开收集的分流装置。

背景技术

芯片清洗是芯片制造工艺中的一个必要程序，其主要去除喷洒在芯片表面的显影剂或光刻胶剥离剂，使芯片表面的图形能通过显影或光刻胶剥离工序而显现出来，让芯片的功能得以发挥并维持良好的稳定性。

例如图1所示，在以往的一个芯片蚀刻工序中，经过光刻胶覆盖及曝光之后的一个芯片90被放置在一个显影机台的显影槽91内，并固定在一个旋转器92的一个载盘93上。然后一个喷嘴94将显影液喷洒于芯片90表面，使显影液与芯片90上经曝光的光刻胶层产生化学反应以显影，当显影完成后，旋转器92带动芯片90旋转，并且另一个喷嘴95将清洗溶液，例如去离子水喷洒于芯片90表面，使将芯片90表面的显影液冲洗干净，而喷洒于显影槽91内的显影液与清洗溶液则会通过同一出口96收集于一个废水集中槽(图未示)，再进行废水处理以避免环境污染。然而此种做法不但使显影液无法被回收再利用，而无法减少显影液的用量及采购费用，更重要的是微量的显影液混合大量的去离子水后，这大量的混合液体均被视为已污染化学液体，须特别进行化学废弃物处理，成本十分高昂，导致芯片制造成本无法有效降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可让有机物与无机物分流回收再利用，以降低有机物回收成本并减少环境污染的分流装置。

本发明的分流装置，包括：一个桶槽，具有一个底壁及环绕该底壁周缘的侧壁，该底壁具有位于中央的一个第一开口，以及环绕该第一开口且相隔离的一个第一流道及一个第二流道；一个固定座，设于该桶槽的底壁并封闭该第一开口；及一个内分流环，可相对该桶槽纵向位移地置于该桶槽内，并具有一个底壁，一个由底壁周缘向上环绕形成的上周壁，以及一个由底壁的底面向下环绕形成的下周壁，而由该底壁和该上周壁共同形成一个上容置空间，以及由该底壁和该下周壁共同形成一个下容置空间；该底壁位于该桶槽的第一流道及第二流道上方，并具有一个位于中央的第二开口，以及多个与该第二流道对应的导流孔；该内分流环的底壁的第二开口与该固定座相套接而密合时，会阻隔该上容置空间和该下容置空间，且该下周壁置入该第一流道中，使得该上容置空间通过该底壁的这些导流孔与该桶槽的第二流道相连通；该内分流环的底壁的第二开口与该固定座分离时，该内分流环的下周壁会阻隔该下容置空间与该桶槽的第二流道，并使该下容置空间与该桶槽的第一流道相连通。

较佳地，该内分流环的这些导流孔是分布在该内分流环的底壁周缘，且该第二开口与这些导流孔之间具有一个斜面，使得该第二开口高于这些导流孔。

较佳地，该第一开口与该第一流道之间是以一第一环形隔板相间隔，且该第一流道与该第二流道之间是以一第二环形隔板相间隔。

较佳地，该固定座的上端具有一个圆形端部，且该内分流环的底壁的第二开口是与该固定座的圆形端部套接而相密合。

较佳地，该固定座还具有由其底面周缘向下延伸形成的一个环形周壁，该环形周壁套设在该桶槽的底壁的该第一环形隔板的外面并与该第一环形隔板紧配合，而将该固定座固定在该桶槽的底壁的第一开口上方。

较佳地，该分流装置还包括一个环形盖板以及一个第一驱动件，该环形盖板固定在该内分流环的上周壁上缘，该第一驱动件与该环形盖板连接，并通过该环形盖板驱动该内分流环相对该桶槽纵向位移。

较佳地，该分流装置还包括一个设于该固定座的中央的升降机构，其包含一根可纵向位移地穿设于该固定座中央的活动杆，一根驱动杆以及设于该桶槽的底壁下方的一个第二驱动件及一个第三驱动件，该活动杆的顶端外露于该固定座外并形成一个承载面，该驱动杆的一个上端部与该活动杆的一个下半部相套接，且该驱动杆的一个下端部穿出该桶槽的底壁外并与该第二驱动件连接，该第二驱动件通过该驱动杆驱动该活动杆旋转，且该第三驱动件与该第二驱动件连接，并通过该第二驱动件驱动该活动杆相对该固定座纵向位移。

本发明的有益效果在于：借由在桶槽的底壁形成第一流道及第二流道，并于内分流环内形成上容置空间及下容置空间，使得内分流环与固定在桶槽的底壁的固定座分离时，下容置空间会与第一流道相连通并阻隔第二流道，让洒落在下容置空间中的液体可以通过第一流道排出，并在内分流环与固定在桶槽的底壁的固定座相套接而密合时，阻隔上容置空间与下容置空间，并使上容置空间通过这些导流孔与第二流道相连通，使得洒落在上容置空间的液体可以通过第二流道排出。

附图说明

图1是以往显影槽只有一个出口供排出显影剂及清洗溶液的示意图。