[发明专利]一种调焦调平光斑位置校准方法

权利要求书

1.一种调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，包括：

（a）将一光源经狭缝后在基板上形成测量光斑；

（b）移动所述基板至所述测量光斑位置处；

（c）扫描所述测量光斑的左右两侧边界，探测所述测量光斑经所述基板反射后的信号，获得所述测量光斑的水平位置及放大倍率；

（d）使所述测量光斑在所述基板内侧的边缘步进运动；

（e）探测所述测量光斑的实际高度值，根据所述实际高度和所述水平位置进行拟合运算，获得所述测量光斑的零位偏差。

2.如权利要求1所述的调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，所述步骤（b）进一步包括：移动所述基板，使所述基板X向右侧边界与所述测量光斑X向右侧边界平行。

3.如权利要求1所述的调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，所述步骤（c）中扫描所述测量光斑的左右两侧边界包括：分别对所述测量光斑的右边界和左边界进行扫描，扫描时按照二分法进行，每次步进的步长是上一次步长的一半，若两次光强测量值同时大于或者小于99.9%参考光强，则步进方向不变，否则步进方向反向。

4.如权利要求1所述的调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，所述步骤（c）中所述测量光斑的水平位置为(                                               ，)，其中x₁为x方向下左边界位置、x₂为右边界位置，y₁为y方向下左边界位置、y₂为右边界位置。

5.如权利要求4所述的调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，所述步骤（c）中x向放大倍率Mx为/x, 其中是所述测量光斑的X向实际长度，x为所述测量光斑的名义长度；y向放大倍率My为/y, 其中是所述测量光斑的Y向实际长度，y为所述测量光斑的名义长度。

6.如权利要求4所述的调焦调平光斑位置校准方法，其特征在于，所述步骤（e）中所述的拟合为采用最小二乘法拟合平面AX+BY+C=Z，即将所述实际高度值Zi和所述水平位置（X_i，Y_i）代入所述拟合平面：

，得到拟合系数A、B和C；

将所述测量光斑的水平位置再次代入到所述拟合平面AX+BY+C=Z中，求得拟合高度值；

将所述拟合高度值与所述实际高度值相减，获得所述测量光斑的零位偏差。