[发明专利]用于探测光的装置和方法

权利要求书

1.一种用于探测光的装置，特别地用在显微镜、光谱仪或照相机中，包括至少一个硅光电倍增管（SiPM），其由多个单光子雪崩二极管（SPADs）的阵列组成，该阵列的面积大于入射光的面积，其中仅仅激活和/或分析那些以特定最小强度的光入射其上的SPADs。

2.如权利要求1所述的装置，其中，提供多个硅光电倍增管（SiPM）的阵列，每个SiPM由多个单光子雪崩二极管（SPADs）的阵列组成，阵列的面积大于入射光的面积，其中仅仅激活和/或分析SiPMs阵列中那些以特定最小强度的光入射其上的SPADs。

3.如权利要求1或2所述的装置，其中，由一个或多个测试测量，或者由总是在给定系统设定下的校准，来得到光的最小强度。

4.一种用于探测光的装置，特别地用在显微镜、光谱仪或照相机中，包括至少一个硅光电倍增管（SiPM），其由多个单光子雪崩二极管（SPADs）的阵列组成，特别地具有权利要求1至3的特征；对每个SiPM，去活化或不分析那些运行逊于满意或错误的SPADs。

5.如权利要求4所述的装置，其中，借由有用信号与暗电流噪音的比率的下限阈值，能够确定个别逊于满意或错误的SPADs。

6.如权利要求4或5所述的装置，其中，借由测试/校准测量确定那些运行逊于满意或错误的SPADs，并在SiPM的寿命期间去活化这些SPADs。

7.如权利要求1至6所述的装置，其中待去活化的SPADs被切断。

8.如权利要求1至6所述的装置，其中通过控制，优选地通过软件，对那些待去活化的SPADs进行去活化。

9.如权利要求1至6所述的装置，其中不被考虑的SPADs的电输出信号在信号的赋值中被忽略。

10.如权利要求1至9所述的装置，其中为SiPM的各个SPADs配置微透镜，或者说是配置适用于SPADs阵列的微透镜阵列，其将光聚焦在SPADs的光敏区域上。

11.如权利要求1至10所述的装置，其中SiPM的SPADs布置在一个芯片上，优选地在硅基底的芯片上。

12.如权利要求11所述的装置，其中芯片优选地被热电地冷却。

13.一种显微镜，特别地为共焦显微镜，其特征在于通过根据权利要求1至12之一的装置，以探测自样本返回的探测光。

14.一种光谱仪，其特征在于通过根据权利要求1至12之一的装置，以探测光谱区域的光。

15.一种照相机，其特征在于通过根据权利要求1至12之一的装置，以捕获光从而生成图象。

16.一种用于探测光的方法，特别地用在显微镜、光谱仪或照相机中，优选地采用根据权利要求1至12之一的装置，包括至少一个硅光电倍增管（SiPM），其由多个单光子雪崩二极管（SPADs）的阵列组成，该阵列的面积大于入射光的面积，其中仅仅激活和/或分析那些以特定最小强度的光入射其上的SPADs；和/或，对每个SiPM，去活化或不分析那些运行逊于满意或错误的SPADs。

17.如权利要求16所述的方法，其中，由一个或多个测试测量，或者由在给定系统设定下的校准，来得到光的最小强度。

18.如权利要求17所述的方法，其中，借由测试/校准测量确定那些运行逊于满意或错误的SPADs，并在SiPM的寿命期间去活化这些SPADs。

19.如权利要求18所述的方法，其中，为确定运行逊于满意或错误的SPADs，激发每个SiPM上的各个SPAD，并基于像素计数率将暗计数率分配至各个SPADs。