[发明专利]直拉单晶炉及用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法

权利要求书

1.一种用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、利用碳纤维加工成预制体；

B、将所述预制体放在化学气相沉积炉中加热至1050°C-1150°C；

C、在所述化学气相沉积炉中通入丙烷气体，所述丙烷气体在高温下分解生成碳，所述碳沉积在所述预制体中，以提高所述预制体的密度；

D、将致密后的所述预制体放在石墨化炉中，加热至2300°C-2800°C，保持该温度2-4小时后，进行冷却，形成碳碳复合材料。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤A具体为：将树脂涂在所述碳纤维上，进行热固后，采用3D编织技术将所述碳纤维编织成所述预制体。

3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述碳纤维为12K碳纤维。

4.一种直拉单晶炉，其特征在于，包括由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得的加热器，所述加热器的密度≥1.8g/cm³。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于，所述直拉单晶炉进一步包括位于所述加热器内部的坩埚，所述坩埚由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得，所述坩埚的密度为1.6-1.8g/cm³。

6.根据权利要求5所述的直拉单晶炉，其特征在于，在所述坩埚的下方设置有支撑所述坩埚的底托和托杆，所述底托和所述托杆由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得。

7.根据权利要求5所述的直拉单晶炉，其特征在于，在所述坩埚的上方设置有由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得的导流筒，所述导流筒的密度≥1.5g/cm³。

8.根据权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于，所述直拉单晶炉进一步包括由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得的保温筒，所述保温筒的密度为0.2-0.3g/cm³。

9.根据权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于，所述直拉单晶炉的进一步包括由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得的隔热材料，所述隔热材料的密度为0.2-0.3g/cm³。

10.根据权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于，所述加热器通过电极螺栓与连接板连接，所述电极螺栓和所述连接板由采用权利要求1至3任意一项所述的加工方法加工而成的碳碳复合材料制得。