[发明专利]一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器有效
申请号: | 201210242530.8 | 申请日: | 2012-07-13 |
公开(公告)号: | CN102735655A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李明宇;张伟;何建军 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N21/55 | 分类号: | G01N21/55;G01N21/41 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 周烽 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 反射 表面 等离子体 共振 波导 传感器 | ||
1.一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器,其特征在于,它包括:输入波导阵列(1)、自由传播区(2)、第一金属传感层(3)、第二金属传感层(6)、输出波导阵列(9)和探测器阵列(10)等;其中,所述自由传播区(2)上具有自由传播区反射端平面(4)和自由传播区反射端曲面(7);第一金属传感层(3)镀在自由传播区反射端平面(4)上,第二金属传感层(6)镀在自由传播区反射端曲面(7)上,第一金属传感层(3)上蚀刻了第一深刻蚀槽(5),第二金属传感层(6)上蚀刻了第二深刻蚀槽(8);输出波导阵列(9)的两端分别为自由传播区(2)和探测器阵列(10);输入波导阵列(1)、输出波导阵列(9)、探测器阵列(10)和自由传播区(2)一体形成。
2.根据权利要求1所述基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器,其特征在于,所述第一金属传感层(3)和第二金属传感层(6)的材料为银。
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