[发明专利]可消除非线性的外差激光干涉仪

权利要求书

1.一种可消除非线性的外差激光干涉仪，包括一个双频激光器(1)、一个非偏振分光镜(2)、一个偏振分光镜(5)、三个1/4波片a、b、c (6、8、10)、两个角反射镜a、b (7、9)、两个偏振片a、b (3、11)、两个光电探测器a、b (4、14)、一个相位卡(15)、一个工控机(16)、一个驱动器(17)、一个直流伺服电机(12)和一个编码器(13)，其特征在于：所述激光器(1)、非偏振分光镜(2)和偏振分光镜(5)以及1/4波片b (8)和角反射镜b (9)依次成一直线水平方向排列；角反射镜a (7)、1/4波片a (6)、偏振分光镜(5)以及1/4波片c (10)、直流伺服电机驱动的偏振片b (11)和光电探测器b (14)依次成一直线垂直方向排列；非偏振分光镜(2)、偏振片a (3)和光电探测器a (4)依次成一直线垂直方向排列；与直流伺服电机(12)连接的编码器(13)的输出和两个光电探测器a、b (4、14)经相位卡(15)的输出连接到工控机(16)，工控机(16)的输出经驱动器(17)连接直流伺服电机(12)；激光器(1)发出的光经非偏振分光镜(2)分光后，反射光经偏振片a (3)到达光电探测器a (4)形成参考信号I_R；透射光经过偏振分光镜(5)被分成水平和垂直两个方向，这两个方向的光束分别通过两个1/4波片a、b (6、8)、分别经固定的角反射镜a (7)和可动的角反射b (9)反射又在偏振光分光镜(5)中汇合，然后穿过偏振片b (11)到达光电探测器b (14)形成测量信号I_M；随着角反射镜b (9)位置的变化使得两干涉臂光程差变化ΔL 时，由相位卡(15)测得的相位差信号Δφ与光程差ΔL存在非线性关系，工控机(16)根据采集到的相位差信号控制直流伺服电机(12)使偏振片b (11)按设定方向旋转，直到相位差数值为零，这时由编码器(13)测出偏振片b (11)转过的角度，由此可得出测量反射镜b (9)不包含非线性的实际位移。

2.如权利要求1所述的可消除非线性的外差激光干涉仪，其特征在于：所述的偏振片b (11)是安装在伺服电机(12)的轴上，并随电机一起转动，伺服电机的转动由程序控制。

3.如权利要求1所述的可消除非线性的外差激光干涉仪，其特征在于：所述的伺服电机为空心轴、直流额定电压为5V的电机。