[发明专利]照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法

权利要求书

1.一种照明光学装置，用于曝光装置中，该曝光装置是经由投影光学系统而将规定图案曝光至基板上，并利用来自光源的光以所述规定图案进行照明，其特征在于其包括：

第1光学系统，配置于所述照明光学装置的照明光路中，使从所述光源而来的光以规定形状分布于所述第1光学系统的远场的位置；

第2光学系统，使分布于所述远场的位置的光，聚焦到所述照明光路的第1面；以及

光学积分器，利用从所述第2光学系统而来的光形成面光源，

其中，所述第2光学系统改变所述光学积分器的入射侧的面与所述第1面沿所述照明光学系统的光轴方向的间隔。

2.根据权利要求1所述的照明光学装置，其特征在于所述第2光学系统包括在光轴方向上可移动的一个或多个可动透镜。

3.根据权利要求2所述的照明光学装置，其特征在于所述第2光学系统包括间隔相对可变的第一棱镜及第二棱镜。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的照明光学装置，其特征在于所述光学积分器是在光轴方向上可移动的。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的照明光学装置，其特征在于所述第2光学系统包括在光轴方向上可移动的一个或多个可动透镜，并且使该可动透镜移动而改变所述第1面在所述光轴方向的位置。

6.一种曝光装置，其特征在于其包括上述权利要求1至3中任一项所述的照明光学装置，并将由上述照明光学装置照明的所述规定图案曝光至感光性基板上。

7.一种元件制造方法，其特征在于其包括以下步骤：

曝光步骤，使用上述权利要求6所述的曝光装置，将所述规定图案曝光至所述感光性基板上；以及

显影步骤，使经上述曝光步骤后的上述感光性基板显影。

8.一种曝光装置，其特征在于其包括上述权利要求4所述的照明光学装置，并将由上述照明光学装置照明的所述规定图案曝光至感光性基板上。

9.一种曝光装置，其特征在于其包括上述权利要求5所述的照明光学装置，并将由上述照明光学装置照明的所述规定图案曝光至感光性基板上。