[发明专利]一种高温稳定性火花塞电极涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种温稳定性火花塞电极涂层，其特征在于该涂层由铂族金属及其合金组成。

2.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层厚度为10-100μm。

3.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层为铱基材料。

4.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层中的合金元素为锆、铪、钽、钇、铝、钨中的一种或多种。

5.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层中的合金以单质形式存在或与铱形成金属间化合物。

6.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层中含有少量的氧元素，构成铱-锆/铪/钽/钇/铝/钨-氧复合涂层。

7.根据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层由纳米级或微米级晶粒组成。

8.依据权利要求书1所述的涂层，其特征在于涂层中铱含量为75at.％～98at.％，合金元素含量为1.5at.％～15at.％，氧元素含量为0.5at.％～10at.％。

9.一种高温稳定性火花塞电极涂层的制备方法，其特征在于包括下述顺序的步骤：

(1)电极基体表面预先用机械抛光，再碱洗除油、酸洗，之后烘干。

(2)调节合金靶材与电极基体之间的距离10～20mm；

(3)真空炉内极限真空10^-3Pa以下，然后打开冷却水循环系统；

(4)通入氩气或氧气，炉内工作气压0.1～5Pa，氧气流量5sccm～20sccm；

(5)气压稳定后，开启电源，缓慢增加基材电位-100V～-300V；

(6)基材电压保持30min后，缓慢增加靶材电位-500V～-800V，开始涂层的制备；

(7)保持工艺参数1-5h后，关闭电源系统和真空系统，冷却至室温，关闭冷却水循环系统，打开炉罩，取出电极基材。