[发明专利]硅片切割废液处理方法

权利要求书

1.硅片切割废液处理方法，其特征在于包括以下步骤：

A、对切割废液进行固液分离，将切割废液中的聚乙二醇液体与碳化硅颗粒、硅粉颗粒分离，得到聚乙二醇液体和混合有硅粉的碳化硅固体；

B、对分离出来的混合有硅粉的碳化硅进行分级处理，去除目数大于1300目的超细碳化硅；

C、将分离出来的混合有硅粉的超细碳化硅采用重液分离与电泳相结合的方法分离其中的硅粉与超细碳化硅，具体方法如下：先把混合有硅粉的超细碳化硅装入熔炼设备，加热到2500℃以上，使超细碳化硅与硅粉全部融化，然后将其融化后的液体注入石英坩埚内，在重力作用下，超细碳化硅液体与硅液体在石英坩埚内分成两层，超细碳化硅液体位于石英坩埚的上层，硅液体位于石英坩埚下层，待温度冷却后，将凝固后固体从石英坩埚内取出并切开得到硅锭与超细碳化硅锭。

2.如权利要求1所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：在步骤C中，在将融化后的超细碳化硅与硅液体注入石英坩埚之前，先将石英坩埚预热到1200℃。

3.如权利要求2所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：在步骤C中，所使用的石英坩埚底部设置有加热装置。

4.如权利要求1所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：在步骤A中，采用如下所述的固液分离装置对切割废液进行固液分离，所述固液分离装置包括分离锥形筒（201），分离锥形筒（201）的大径端朝上并且设置有切割废液进口（202），所述分离锥形筒（201）的小径端设置有可拆卸的封堵结构（203），所述分离锥形筒（201）上部设置有聚乙二醇液体排出口（204），所述分离锥形筒（201）的内壁与重力方向的夹角为5°～45°。

5.如权利要求4所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：所述分离锥形筒（201）内设置有辅助沉积锥体（205），所述辅助沉积锥体（205）位于分离锥形筒（201）的小径端，辅助沉积锥体（205）的锥尖朝上，辅助沉积锥体（205）的底部边缘与分离锥形筒（201）的内壁之间存在间隙。

6.如权利要求5所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：所述分离锥形筒（201）内设置有辅助蠕动锥筒（206），所述辅助蠕动锥筒（206）设置在辅助沉积锥体（205）下方，辅助蠕动锥筒（206）的两端敞开并且辅助蠕动锥筒（206）的大径端朝下，辅助蠕动锥筒（206）的底部边缘与分离锥形筒（201）的内壁之间存在间隙。

7.根据权利要求1至6中任意一项权利要求所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：

在步骤B中，采用水力分级装置对混合有硅粉的碳化硅进行分级处理，所述水力分级装置包括分级锥形筒（301），分级锥形筒（301）的大径端朝上并且设置有进料（302），所述分级锥形筒（301）的小径端设置有可拆卸的封堵部件（303），所述分级锥形筒（301）上部设置有超细碳化硅液体排出口（304），所述分级锥形筒（301）下部设置有进水口（305），所述分级锥形筒（301）的内壁与重力方向的夹角为5°～45°。

8.如权利要求7所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：所述超细碳化硅液体排出口（304）下方设置有集液池（306），所述进水口（305）上连接有液管（307），液管（307）另一端与集液池（306）连通，所述液管（307）上设置有水泵（308）。

9.如权利要求8所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：所述液管（307）上连接有回流管（309），回流管（309）的端头伸入集液池（306）内，所述回流管（309）上设置有截止阀（310），所述液管（307）上设置有压力表（311）。

10.如权利要求9所述的硅片切割废液处理方法，其特征在于：所述液管（307）上设置有储液腔（312）。