[发明专利]一种在线SPM生成系统及其控制方法

权利要求书

1.一种在线SPM生成系统，包括H2SO4供给单元，H2O2供给单元，SPM混合喷淋单元和控制单元，其特征在于：

所述的H2SO4供给单元包括H2SO4流量控制元件，所述的H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到所述的SPM混合喷淋单元；

所述的H2O2供给单元包括H2O2流量控制元件，所述的H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到所述的SPM混合喷淋单元；

所述的SPM混合喷淋单元包括一个SPM混合元件和至少一个SPM喷淋头；所述的SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端，所述的H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端，所述的H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端，所述的SPM混合元件的SPM输出端连接到所述的SPM喷淋头；

所述的控制单元包括第一流量计，第二流量计，A/D转换单元，工艺参数输入单元，控制运算单元和隔离驱动单元；所述的第一流量计串联连接在H2SO4输送管路中，所述的第二流量计串联连接在H2O2输送管路中；所述的第一流量计和第二流量计的流量检测输出端，分别连接到A/D转换单元的一个模拟量输入端；所述A/D转换单元的数字输出端连接到所述的控制运算单元的输入端；所述控制运算单元通过所述的工艺参数输入单元连接到外部HMI终端或者上级控制计算机网络；所述的控制运算单元通过隔离驱动单元的H2SO4流量控制输出端，连接到所述的H2SO4流量控制元件的输入端，通过隔离驱动单元的H2O2流量控制输出端，连接到所述的H2O2流量控制元件的输入端。

2.根据权利要求1所述的在线SPM生成系统，其特征在于所述的H2SO4供给单元还包括第一全氟泵；所述的H2SO4流量控制元件由第一电动调压阀和第一气动调压阀连接组成；所述第一气动调压阀的电控信号输入端，构成H2SO4流量控制元件的输入端，连接到所述隔离驱动单元的H2SO4流量控制输出端；所述的第一电动调压阀的气压输出回路，连接到第一气动调压阀的CDA气动输入回路；所述的第一全氟泵的加压输出端，连接到第一气动调压阀的调压输入端；所述的第一气动调压阀的调压输出端，连接到H2SO4输送管路。

3.根据权利要求2所述的在线SPM生成系统，其特征在于所述的H2SO4供给单元还包括H2SO4回流循环子系统；所述的H2SO4回流循环子系统包括H2SO4罐，第一过滤器，第一进液阀组和第一出液阀组；外部H2SO4供应管路经由第一过滤器连接到第一进液阀组的常闭阀入口端，H2SO4罐的出口管路连接到第一进液阀组的常开阀入口端，第一进液阀组的出口端连接到所述的第一全氟泵的吸入侧；所述第一气动调压阀的出口端，连接到第一出液阀组的入口端，第一出液阀组的常开阀出口端，连接到H2SO4罐的入口管路，第一出液阀组的常闭阀出口端，通过H2SO4输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端。

4.根据权利要求1所述的在线SPM生成系统，其特征在于所述的H2O2供给单元还包括第二全氟泵；所述的H2O2流量控制元件由第二电动调压阀和第二气动调压阀连接组成；所述第二电动调压阀的电控信号输入端，构成H2O2流量控制元件的输入端，连接到所述隔离驱动单元的H2O2流量控制输出端；所述的第二电动调压阀的气压输出回路，连接到第二气动调压阀的CDA气动输入回路；所述的第二全氟泵的加压输出端，连接到第二气动调压阀的调压输入端；所述的第二气动调压阀的调压输出端，连接到H2O2输送管路。

5.根据权利要求4所述的在线SPM生成系统，其特征在于所述的H2O2供给单元还包括H2O2回流循环子系统；所述的H2O2回流循环子系统包括H2O2罐，第二过滤器，第二进液阀组和第二出液阀组；外部H2O2供应管路连接到第二进液阀组的常闭阀入口端，H2O2罐的出口管路连接到第二进液阀组的常开阀入口端，第二进液阀组的出口端连接到所述的第二全氟泵的吸入侧；所述第二气动调压阀的出口端，经由第二过滤器连接到第二出液阀组的入口端，第二出液阀组的常开阀出口端，连接到H2O2罐的入口管路，第二出液阀组的常闭阀出口端，通过H2O2输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端。