[发明专利]时间分辨激光诱导击穿光谱测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种时间分辨光谱测量方法，尤其涉及一种时间分辨激光诱导击穿光谱测量方法。

背景技术

激光诱导击穿光谱技术是利用高功率密度脉冲激光入射到物体表面时烧蚀物体产生大量等离子体，在等离子体冷却过程中，处于激发态的原子(或离子)会发出特定频率的光子，即产生特征谱线。对等离子体发射光谱进行探测即可得到激光诱导击穿光谱，通过对光谱进行分析即可得到被测物质的成份和浓度信息。

激光聚焦烧蚀待分析样品时，产生的等离子体持续时间一般为几百纳秒到几微秒。常规性能光谱仪积分时间为毫秒到数分钟量级，其测量得到的积分强度为激光等离子体存在过程中的光谱信号强度之和。因此常规激光诱导击穿光谱仪无法测量样品特征谱线的动态演化过程。

通过时间分辨光谱测量可以得到样品特征谱线的动态演化过程，这对研究等离子体温度和电子密度演化、等离子体热力学平衡状态和样品成份定量分析都具有重要意义。

实现时间分辨测量对光谱探测器和时序控制器要求较高，其中时序控制器很容易实现数纳秒的时间同步精度，因此时间分辨测量精度主要取决于光谱探测器的最短积分时间。普通光谱仪的最短积分时间一般在微秒到毫秒量级，无法满足激光诱导击穿光谱的时间分辨测量。目前可进行时间分辨测量系统大多采用光电倍增管或ICCD，系统成本高。利用低成本系统实现时间分辨测量，对降低利用时间分辨进行成份检测的激光诱导击穿光谱设备成本具有重要意义。

发明内容

基于业界的上述要求，本发明旨在提出一种全新的时间分辨激光诱导击穿光谱测量方法。

具体地说，本发明提供了一种时间分辨激光诱导击穿光谱测量方法，包括：设定光谱仪的积分时间；设定不同的积分延迟时间，以获得所述不同的积分延迟时间下的多个激光诱导击穿光谱信号；对所得每个激光诱导击穿光谱信号中的待分析的特征谱线进行拟合，以获得不同的积分延迟时间下的特征谱线强度；对所述特征谱线强度进行差分，从而获得谱线的时间分辨强度曲线。

本发明的方法可以利用简单的设备实现时间分辨激光诱导击穿光谱检测，具有实施容易、成本低廉的特点。

本发明的主要特点在于：结合激光诱导击穿光谱时序特点，通过控制光谱仪积分延迟时间获得不同延时下的光谱信号，将测得的特征谱线强度根据固定的时间间隔进行差分，即可得到与差分间隔时间内发射光谱信号的积分强度。该方法用低成本系统实现时间分辨光谱测量，可用于激光诱导等离子体温度、电子密度及成份定量分析等研究。经过验证，利用常规性能光谱仪(积分时间为毫秒量级)可以容易实现100ns水平的时间分辨激光诱导击穿光谱测量。

应当理解，本发明以上的一般性描述和以下的详细描述都是示例性和说明性的，并且旨在为如权利要求所述的本发明提供进一步的解释。

附图说明

包括附图是为提供对本发明进一步的理解，它们被收录并构成本申请的一部分，附图示出了本发明的实施例，并与本说明书一起起到解释本发明原理的作用。附图中：

图1示出了本发明的测量系统100的结构示意图。

图2示出了本发明的原理示意图。

图3示出了本发明的时间分辨激光诱导击穿光谱测量方法的主要步骤的流程图。

图4是根据本发明的以25#碳钢标样为样品获得的Fe 228.03nm谱线强度的时间演化曲线。

具体实施方式

现在将详细参考附图描述本发明的实施例。现在将详细参考本发明的优选实施例，其示例在附图中示出。在任何可能的情况下，在所有附图中将使用相同的标记来表示相同或相似的部分。此外，尽管本发明中所使用的术语是从公知公用的术语中选择的，但是本发明说明书中所提及的一些术语可能是申请人按他或她的判断来选择的，其详细含义在本文的描述的相关部分中说明。此外，要求不仅仅通过所使用的实际术语，而是还要通过每个术语所蕴含的意义来理解本发明。

图1示出了本发明的测量系统100的结构示意图。