[发明专利]激光加工装置及使用激光加工装置的被加工物的加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其照射激光来加工被加工物，其特征在于包括：平台部，固定被加工物；及

光学系统，使由激光光源出射的激光从聚光透镜向固定在上述平台部的上述被加工物照射；且上述光学系统包括：

分支机构，使从上述激光光源出射的上述激光分成第一分支光及第二分支光；

转换机构，使上述第二分支光的光束轮廓以行进方向为轴旋转90°；

光路共通化机构，使上述第一分支光及经过上述转换机构的上述第二分支光的到达上述聚光透镜为止的照射用光路共通化；以及

选择性阻断机构，在上述分支机构与上述光路共通化机构之间，选择性地阻断上述第一分支光及上述第二分支光；且

当将经过上述光路共通化机构的上述第一分支光设为第一照射用激光，将经过上述共通化机构的上述第二分支光设为第二照射用激光时，

通过切换利用上述选择性阻断机构阻断的上述第一分支光及上述第二分支光，可以对固定在上述平台部的上述被加工物选择性地照射具有同一光束轮廓且朝向正交的上述第一照射用激光及上述第二照射用激光中的任一者。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

上述平台部沿着相互正交的第一方向及第二方向自如移动，

当对上述被加工物照射上述第一照射用激光时，使上述平台部沿上述第一方向移动，当对上述被加工物照射上述第二照射用激光时，使上述平台部沿上述第二方向移动。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于：

上述转换机构是通过组合多个反射镜而构成。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于：

上述转换机构包括具有多个反射面的棱镜。

5.一种使用激光加工装置的被加工物的加工方法，其使用如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于包括如下步骤：

固定步骤，将上述被加工物固定在上述平台部；

对准步骤，使设定在上述被加工物上的格子状的加工对象位置的相互正交的延伸方向与上述第一方向及上述第二方向吻合；

第一加工步骤，一面使上述平台部沿上述第一方向移动，一面照射上述第一照射用激光，而对沿上述第一方向延伸的加工对象位置进行加工；及

第二加工步骤，一面使上述平台部沿上述第二方向移动，一面照射上述第二照射用激光，而对沿上述第二方向延伸的加工对象位置进行加工。