[发明专利]一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备

权利要求书

1.一种紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜及第三透镜；所述第一透镜和第三透镜均为平凸型正透镜，所述第二透镜为凸凹型负透镜；

所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面；所述第一至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布；

所述第一至第六曲面的曲率半径依次为：∞，-30mm，10mm，2.2mm，∞，-81mm；

所述第一至第三透镜的中心厚度依次为：2mm，1mm，4mm；

所述第一至第三透镜的外径依次为：10mm，3mm，34mm；

所述第一至第三透镜的折射率与阿贝数的比例依次为：1.57：41，1.48：68，1.57：41；

所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为6~37mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为114~125mm。

各所述曲率半径、中心厚度、外径、折射率与阿贝数的比例以及各所述间距的公差范围均为5%。

2.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为36.9mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为114.3mm。

3.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为32.6mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为118.8mm。

4.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为27.8mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为120mm。

5.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为23.3mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为120.5mm。

6.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为19.6mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为120.8mm。

7.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为14.4mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为121.1mm。

8.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为9.8mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为121.3mm。

9.如权利要求1所述的紫外激光变倍扩束系统，其特征在于，所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为6mm；所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为121.4mm。

10.一种激光加工设备，包括紫外激光器、用于对所述紫外激光器发出的激光进行扩束的扩束系统，以及用于将经过扩束后的光束进行聚焦的聚焦镜，其特征在于，所述扩束系统采用权利要求1~9任一项所述的紫外激光变倍扩束系统。