[发明专利]环状结构及其相关微扫瞄镜

说明书

技术领域

本发明有关一种微扫瞄镜，特别关于一种利用环状结构以在不增加元件体积与工作电压的运作条件下，可增加镜面旋转角度的微扫瞄镜。

背景技术

传统的微扫瞄镜为一单轴式镜面结构。为了有效提高投影面积，一般方式是经由增加微扫瞄镜的旋转角度来增加投影面积。已知可用来增加微扫瞄镜的旋转角度的方法有减少镜面面积、加大工作电压以及增加静电梳状结构的数量。然而，减少镜面的面积同时会增加光路对准精度要求与成本。加大工作电压的方式虽不需增加微扫瞄镜的元件体积，但较为消耗能量，并不符合节能省电的环保意识。

此外，增加静电梳状结构的数量可有效提高微扫瞄镜镜面的旋转角度，但为了配置更密集的静电梳状结构，微扫瞄镜势必要相对应地加大其元件体积，而元件体积加大会提高其旋转时的空气阻尼，因此需要提供更高的工作电压来增加镜面的旋转角度，以克服因元件体积增大而提高的空气阻尼，如此体积增大及需要更高工作电压的微扫瞄镜既不环保，也不符合轻量化的产品趋势，故如何克服上述缺点，而制作出较佳品质的微扫瞄镜，即为相关产业的重要发展课题。

有鉴于此，提供一种可改善至少一种上述缺失的，乃为此业界亟待解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种利用环状结构以在不增加元件体积与工作电压的运作条件下，可增加镜面旋转角度的微扫瞄镜。

为达上述目的，本发明所揭露的一种环状结构，设置于一镜面结构与一基板之间。该环状结构包含至少一第一边、至少一第二边以及一第一梳状电极。该第二边的一端连接于该第一边，该第二边具有一第一侧与一第二侧，该第一侧邻近该镜面结构，且该第二侧邻近该基板。该第一梳状电极设置于该第二边上。

为达上述目的，本发明所揭露的一种微扫瞄镜，其包含一基板、一环状结构及一镜面结构。该基板具有一中空区域与一第一转轴。该环状结构设置于该基板的该中空区域内，且包覆该镜面结构。该镜面结构具有一第二转轴，该第二转轴连接于该环状结构。该环状结构包含至少一第一边、至少一第二边及一第一梳状电极。该第一边连接于该第一转轴。该第二边的一端连接于该第一边。该第二边具有一第一侧与一第二侧，该第一侧邻近该镜面结构，且该第二侧邻近该基板。该第一梳状电极设置于该第二边上。

为让上述目的、技术特征及优点能更明显易懂，下文以较佳的实施例配合附图进行详细说明。

附图说明

图1为本发明的第一实施例的微扫瞄镜的上视图；

图2为本发明的第二实施例的微扫瞄镜的上视图；

图3为本发明的第三实施例的微扫瞄镜的上视图；及

图4与图5分别为本发明的第三实施例的微扫瞄镜于不同振动频率下的部分外观示意图。

主要元件符号说明：

10、10’、10” 微扫瞄镜

12 基板

121 中空区域

123 第一转轴

14 环状结构

16 第一边

18 第二边

181 第一侧

182 第二侧

183 弧形区段

20 第一梳状电极

22 镜面结构

221 第二转轴

24 第二梳状电极

具体实施方式

请参阅图1，图1为本发明的第一实施例的一微扫瞄镜10的上视图。微扫瞄镜10包含一基板12，且基板12具有一中空区域121与一第一转轴123。微扫瞄镜10另包含一环状结构14，设置于基板12之中空区域121内部。环状结构14包含二个第一边16、二个第二边18以及一第一梳状电极20。

微扫瞄镜10另包含一镜面结构22。镜面结构22具有一第二转轴221，第二转轴221连接于环状结构14，以使镜面结构22以可相对旋转方式装设于环状结构14内。换句话说，环状结构14可用来包覆镜面结构22，且微扫瞄镜10利用环状结构14的设计特征来提高镜面结构22的旋转角度。

二个第一边16分别连接于第一转轴123与第二转轴221之间。二个第二边18的一端分别连接于其中一个第一边16的两端，且各第二边18的另一端则因为透过部分中空区域121间隔开，而未与另一个第一边16发生直接接触，以达到电性隔绝的作用。