[发明专利]一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法

权利要求书

1.一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)将玻璃减薄刻蚀废液中与碱金属盐混合，使玻璃减薄废液中的氟硅酸生成氟硅酸盐沉淀析出，其中碱金属盐与氟硅酸的摩尔计量比为1～5∶1；

(2)经过沉降、过滤进行固液分离；

(3)将步骤(2)所得滤液通入扩散渗析装置，移除滤液中多余的碱金属离子，得到酸液；

(4)对步骤(3)中回收的酸液进行成分补加使其达到玻璃减薄刻蚀使用要求，实现酸液的回收利用；

(5)对步骤(2)中过滤得到的氟硅酸盐沉淀在80～90℃与纯碱溶液反应，pH控制在5.7～7.8，生成硅胶沉淀以及金属氟化物；

(6)借助重力作用分离步骤(5)中生成的硅胶沉淀以及金属氟化物，硅胶在100～120℃进行干燥，并包装待销，金属氟化物在80～120℃进行干燥处理并返回步骤(1)用于氟硅酸处理。

2.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，所述的碱金属盐包括：NaCl、Na₂SO₄、NaNO₃、Na₃PO₄、Na₂CO₃、NaF以及KCl、K₂SO₄、KNO₃、K₃PO₄、K₂CO₃、KF中的一种或几种组合。

3.根据权利要求1或2所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，所述的碱金属盐优先选择玻璃减薄刻蚀废液中已有酸所对应的钠盐或钾盐。

4.根据权利要求1或2所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，所述的碱金属盐的形态为固态、液态中的任何一种或其组合形式。

5.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，步骤(1)所述的玻璃减薄刻蚀废液中与碱金属盐混合的方式包括：碱金属盐添加到玻璃减薄刻蚀废液中的混合反应；玻璃减薄刻蚀废液添加到碱金属盐中的混合反应，或者碱金属盐与玻璃减薄刻蚀废液同时添加到反应槽中的混合反应。

6.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，步骤(2)所述的过滤的方式包括压滤、抽滤或离心过滤。

7.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，步骤(3)所述的扩散渗析装置为阴离子扩散渗析器，采用阴离子膜主要为DF120型阴离子交换膜。

8.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，步骤(5)所述的纯碱溶液为质量百分比浓度为30％的Na₂CO₃溶液。

9.根据权利要求1所述的一种对玻璃减薄刻蚀废液进行处理回收利用的方法，其特征在于，步骤(5)中所述的纯碱的用量为超过纯碱与氟硅酸盐的化学计量比0.1～2。